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特長 STRONG POINT

BS-80020CPPS プラズマソース
プラズマによる基板や基材の温度上昇を抑え、基板/基材へのイオン照射エネルギーを高めた低温プロセス用のプラズマソースです。
プラスチックや有機フィルムへの成膜用途(プラズマアシスト蒸着)や表面改質用途に適しています。
  • 無加熱成膜でも密着性が良く、充填密度の高い薄膜が形成できます
  • 高密度プラズマにより真空室内の蒸気及びプロセスガスの高効率なイオン化に効果があります
  • 基板近傍のイオンアシスト効果も付加され、さらに蒸着材料によってはARE(活性化反応蒸着)効果が期待できます
  • フランジ取付けではなくチャンバー内へ内蔵するタイプで、さらにビーム照射角度を調整できるため、様々なレイアウトの真空装置へ搭載することができます
  • 既設の真空チャンバーへ後付けすることもできます

ARE(活性化反応蒸着)

通常のプラズマソースからの放電に加え、蒸発源側へアシスト電力を供給することにより、ルツボ上で蒸発した材料を効率的にイオン化させながら蒸着が行えます。※

ITO蒸着時の放電中プラズマソースと電子銃ルツボ上蒸気の活性化
ITO蒸着時の放電中プラズマソースと電子銃ルツボ上蒸気の活性化

酸化物では屈折率向上や酸化促進による吸収低減、
透明導電膜では導電性の向上に効果が期待できます。

※ルツボ上放電の発生は材料依存性があります。

成膜事例

1. 反射防止膜

反射防止膜

2. 透明導電膜

ITOの特性データ

プラズマ表面処理例

プラズマ表面処理例

制御電源・操作画面

制御電源・操作画面

出力変換ユニット

オプションの出力変換ユニット(BS-Z12127TPPS)を用いることにより、プラズマ出力やプロセスの安定化が図られ、幅広い出力調整が可能になります。

出力変換ユニット

仕様 SPEC

最大放電出力 3.2kW (160V, 20A) 
最大アシスト出力 2kW (200V, 10A) 
動作圧力 8×10-3~8×10-2Pa (Ar, O2, N2雰囲気中) 
放電ガス(Ar) 8~20mL/min 
適用制御電源 BS-92040CPPC

外形寸法

外形寸法 BS-80020CPPS 日本電子(株)

BS-92040CPPC プラズマソース制御電源 : 570mm(W)×800mm(D)×1,550mm(H)

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