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特長 STRONG POINT

BS/JEBG/EBG series 電子銃
光学薄膜や電極膜など各種薄膜形成に利用される電子ビーム蒸着用電子銃(偏向型)です。

電子ビーム蒸着法の特長

  • 蒸発材料に電子ビームを直接照射し加熱するため熱効率が良く、高融点金属を始め、酸化物や化合物、昇華性物質など様々な材料を蒸発させる事ができます。
  • 水冷銅るつぼ内(※)の蒸発材料を直接加熱するため、抵抗加熱式や誘導加熱式のようにボートやるつぼとの反応がありません。
    ※ハースライナーを使用する場合もあります。
  • 高速で出力制御できるため、精密な膜厚制御が可能です。
  • スパッタリング法や CVD 法と比較した場合、高速で成膜できる点が大きな特長です。  
    1µm 以上の厚膜作製にも有効です。

日本電子製電子銃・電源の特長

[ 酸化物 ]
電子ビームは蒸発材料に対して垂直に照射され、ビームスポットは真円に近くエネルギー密度が高いのが特長です。 更に、高速のスキャニング機能を標準装備しているため、高融点で熱伝導の低い酸化物や昇華性材料への蒸着に適しています。 良好な溶け跡が得られ、広い成膜エリアにおいて再現性のある膜厚分布が得られます。

[ 金属 ]
ルツボの選択範囲が広く、多種・大量・ハイレート蒸着が可能です。 成膜時の温度上昇を抑えたリフトオフプロセス用電子銃もあります。

[ 合金・複合膜 ]
隣接する2点ないし3点のルツボに異なる材料を充填し、専用のスキャンコントローラーを用いて2元ないし3元同時 蒸着による合金膜・複合膜の形成が可能です。

 

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仕様 SPEC

型式 最大出力 偏向角 フィラメント ビーム走査 ルツボ 酸化物 金属
BS-60060DEBS 6.4kW 270° U字形
(長寿命)
高速
スキャニング
※2
BS-60050EBS 10kW 270° ※2
BS-60040VDGN 10kW 270° ※2
BS-60030DGN 10kW 270° ※2
EBG-102UB6S 10kW 180° スパイラル形 12cc×6点
EBG-102UB4S 10kW 180° 12cc×4点
JEBG-102UH0 10kW 180° ※2
BS-60210DEM
+BS-60140H4H
10kW 270° 直線コイル形
(長寿命)
中速
スキャニング
40cc×4点
BS-60210DEM
+BS-60150H6H
10kW 270° 40cc×6点
EBG-203UB6S 20kW※1 270° スパイラル形 高速
スキャニング
12cc×6点※3
EBG-203UB4H 20kW※1 270° 12cc×2点 28cc
(半球)×2点
JEBG-203UA0 20kW※1 270° ※4
JEBG-303UA 30kW※1 270° ※5
 

※1:EB電源の最大出力が16kWとなるため、実際に使用できる最大出力は16kWとなります。
※2:特注にて製作可 ⇒12cc×4 or 6点 等
※3:坩堝穴形状変更可 ⇒ 28cc(φ45×20h)×6点, 51cc(φ60×20h)×3点 等
※4:特注にて製作可 ⇒40cc(φ50×25h)×4 or 6点, 114cc(φ75×30h)×1点 等
※5:特注にて製作可 ⇒114cc(φ75×30h)×1点, φ34×20h×3穴(同時蒸着用), φ70×30h×4点 等
ルツボ仕様についてはご相談下さい。

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