EM-09100IS イオンスライサ™透過電子顕微鏡用の薄膜試料が簡便に作製できる画期的な装置です。

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特長 STRONG POINT

EM-09100IS イオンスライサ™
厚さ100µmの試料から簡便な手順で電子顕微鏡用の薄膜試料が作製できます。
  • 鏡面研磨やディンプルグラインダ処理をする必要がありません。
  • 矩冊状に試料を加工するだけでイオン研磨処理が行えます。
  • 柔らかい金属材料などでも歪が入りにくく、研磨時の破損も少ないので、効率よく試料作製が行えます。
  • 硬度差の大きい試料や複合材料、脆い試料の薄膜作製も行えます。

 

種々の試料が容易に作製できます

セラミックの断面
セラミックの断面
チタンの断面
チタンの断面

セラミックコンデンサの断面
セラミックコンデンサの断面



 

仕様 SPEC

EM-09100IS
イオン加速電圧 1 ∼ 8kV
傾斜角 最大±6º(0.1ºステップ)
ビーム径 500μm(FWHM)
エッチングレート 5μm/min(加速電圧:8kV、Si換算)
使用ガス アルゴンガス
試料サイズ 2.8mm(長さ)×0.5 mm(幅)×0.1mm(厚さ)
圧力測定 ペニング真空計
主排気装置 ターボ分子ポンプ
CCDカメラ 内蔵
寸法・質量 本体 500mm(W)×600mm(D)×542mm(H)、63kg
ロータリーポンプ 150mm(W)×427mm(D)×230.5mm(H)、16kg
液晶ディスプレイ 326mm(W)×173mm(D)×380mm(H)、3.7kg
 

設置条件

EM-09100IS
電源 単相AC100∼120V±10%、50/60Hz、500 ∼ 600VA
接地端子 D種接地(100Ω以下)
アルゴンガス 使用圧力:0.15±0.05MPa(1.0 ∼ 2.0kg/cm2)
アルゴンガス使用流量:約0.2 ccm
純度:99.9999%以上
ホース接続口: JIS B0203 Rc 1/8
※アルゴンガス(配管またはボンベ)およびレギュレータはお客様にてご準備下さい。
室温 20 ∼ 25℃(変動: 1℃/h以内)
湿度 60%以下

※外観・仕様は改良のため予告なく変更することがあります。
※装置設置用のテーブルをご準備下さい。

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