IB-09060CIS クライオ イオンスライサ™熱ダメージの多い試料の断面作製を可能にした試料冷却機構付きイオンスライサ™です。

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特長 STRONG POINT

IB-09060CIS クライオ イオンスライサ™
熱に弱い試料の薄膜作製が簡便にできます。冷却保持時間が長く、熱ダメージをしっかり抑えます。
  • 液体窒素冷却によりイオン照射時の試料への熱ダメージを軽減します。
  • 熱に弱い試料のTEM用薄膜作製や断面作製が簡便にできます。
  • 冷却保持時間が長く、ダメージをしっかり抑えます。
  • 液体窒素を入れたまま試料交換が可能です。
       ※最大試料サイズは2.8mm(長さ)×1.0 mm(幅)×0.1mm(厚さ)となります。
 

クライオイオンスライサによる応用例

透過電子顕微鏡(TEM)観察


走査電子顕微鏡(SEM)観察

仕様 SPEC

IB-09060CIS
イオン加速電圧 1 ~ 8kV
傾斜角 最大±6º(0.1ºステップ)
ビーム径 500μm(FWHM)
エッチングレート 5μm/min(加速電圧:8kV、Si換算)
使用ガス アルゴンガス
最大試料サイズ 2.8mm(長さ)×1.0 mm(幅)×0.1mm(厚さ)
試料冷却 試料ホルダ冷却温度 -120℃
冷却到達時間 1時間
冷却保持時間 8時間
試料取り出し時間 30分
圧力測定 ペニング真空計
主排気装置 ターボ分子ポンプ
CCDカメラ 内蔵
寸法・質量 本体 500mm(W)×600mm(D)×542mm(H)、63kg
ロータリーポンプ 150mm(W)×427mm(D)×230.5mm(H)、16kg
液晶ディスプレイ 326mm(W)×173mm(D)×380mm(H)、3.7kg
 

設置条件

IB-09060CIS
電源 単相AC100∼120V±10%、50/60Hz、500 ~ 600VA
接地端子 D種接地(100Ω以下)
アルゴンガス 使用圧力:0.15±0.05MPa(1.0 ~ 2.0kg/cm²)
アルゴンガス使用流量:約0.2 ccm
純度:99.9999%以上
ホース接続口: JIS B0203 Rc 1/8
※アルゴンガス(配管またはボンベ)およびレギュレータはお客様にてご準備下さい。
室温 20 ~ 25℃
湿度 60%以下

※外観・仕様は改良のため予告なく変更することがあります。
※装置設置用のテーブルをご準備下さい。

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