JED-2300T エネルギー分散形X線分析装置JED-2300T AnalysisStationは、観察から分析までをシームレスに行う元素分析システムです。

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特長 STRONG POINT

JED-2300T エネルギー分散形X線分析装置
アナリシスステーション™
「画像中心の観察分析・融合システム」を、基本コンセプトとしたTEM/EDSのインテグレーションシステムです。分析データと共に電顕本体装置の倍率、加速電圧等のパラメーターを自動収集し、データの管理を行います。
シリコンドリフト検出器(以下、SDD)には、検出面積30mm2、60mm2、100mm2の3タイプがあります。検出面積が大きいものほど検出感度が向上します。JEM-ARM200F(HRP)とドライSD100GV検出器(検出面積100mm2)の組合せでは、大受光面積と高分解能を両立し、 ”B、C、N、O”などの軽元素も明瞭に識別可能です。


試料:カーボン支持膜上のBN粒子

 

高速元素マップ

高感度ドライSD100GV検出器は、Au触媒粒子をわずか1分の測定時間で検出しています。
試料  Ti酸化物担持上のAu触媒粒子
装置 JEM-ARM200F + ドライSD100GV検出器
測定時間 約1分
プローブ電流 1nA
画素数 256x256ピクセル


 

原子分解能マップ

Sr,Tiの原子カラムが明瞭に分離されています。
試料 SrTiO3<100>
装置 JEM-ARM200F + ドライSD100GV検出器
測定時間 約10分
プローブ電流 1nA
画素数 128x128ピクセル

プレイバック

JEOL製のEDSで収集した元素マップは、各フレームのピクセル毎にスペクトルを保存し、各フレームの電子線イメージも保存しています。”プレイバック”機能を使用することにより、スペクトル等の時間変化の観測など、多角的に解析が可能です。測定後にデータのリプレイができ、今まで不可能であった時系列による試料の変化の様子の観測が可能です。またプレイバックでは任意のフレームを切り抜くことも可能です。(特許申請中)
装置 JEM-2800+ドライSD100GV検出器
試料 岩塩
画素数 128x128
抽出フレーム 398フレーム

仕様 SPEC

I:標準モデル、II:マップモデル
 
機    能 I II ※注
パーソナルコンピュータ OS Microsoft®  Windows® XP 以上
マルチユーザ対応
操作メニュー
日本語/英語
検出器 検出器一覧より選択
スペクトル分析 定性/定量分析(TEM用薄膜定量法
スペクトル分析 ビジュアルピークID(VID)
スペクトル分析 薄膜試料の分析
スペクトル分析 ケミカルタイプ分類とQBase(Qualitative Analysis Database、スペクトラムマッチング)
スペクトル分析 計数率とデッドタイムのリアルタイム表示
報告書作成 ワンクリックレポート
報告書作成 スマイルビュー
報告書作成 Microsoft® Word、PowerPoint®フォーマットでの出力
インテグレーション 測定条件の自動取得(倍率、加速電圧)    1
ヘルプ機能 分析アシスト
アナリシスステーション EDSモニタ上から分析を開始(取得画像上での任意分析位置指定)
線分析 線分析・定量線分析
線分析 広域ラインプロファイル
元素マップ 元素マップ(3原色表示、プローブトラッキング)
元素マップ 高精細画像(電子顕微鏡像、元素マップ像共に4096×3072画素)
元素マップ ポップアップスペクトル
元素マップ 定量マップ
元素マップ 残渣マップ
元素マップ プレイバック
元素マップ 散布図(2元/3元)
プローブトラッキング※(ドリフト補正)    2
ユーザースタンダードの作成
スイングマウス PC2台(SEM&EDS)を1組のマウス&キーボードで操作    1
オフライン解析 装置以外のパソコンでデータ解析可能なライセンスソフトウェア

※1 電子顕微鏡本体のパソコンとの接続時のみ可能です。
※2 【特許第3950581号】

脚注:Windows は、米国 Microsoft Corporation の、米国およびその他の国における登録商標または商標です。

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