JEM-ARM300F GRAND ARM 原子分解能電子顕微鏡 世界最高レベルの走査透過像(STEM-HAADF)の分解能 63pm を実現

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特長 STRONG POINT

JEM-ARM300F GRAND ARM 原子分解能電子顕微鏡 
JEM-ARM300F GRAND ARM は自社開発の収差補正装置を組み込んだ最高加速電圧300kVの原子分解能電子顕微鏡です。世界最高レベルのSTEM-HAADF像分解能63pmを実現しました。

世界最高レベルのSTEM-HAADF像分解能 63pm※1を保証

自社開発の収差補正装置の採用により走査透過像 (STEM像)において63pm (加速電圧300kV) ※1を保証します (照射系球面収差補正装置搭載時) 。

※1 超高分解能ポールピース搭載時

ETA corrector 十二極子を採用した自社製補正装置を搭載 ※オプション

ETA corrector(Expanding trajectory aberration corrector)はJEOLが開発した軌道拡張型 十二極子収差補正装置です。
STEM球面収差補正装置およびTEM収差補正装置が搭載可能です。

高性能冷陰極電界放出電子銃 HyperCF300を標準搭載

新規設計の高性能冷陰極型電界放出電子銃を標準構成しています。色収差が低減された高輝度の電子ビームにより高分解能で観察・分析ができます。

用途に応じた二種類の対物レンズポールピース

2種類の特長ある対物レンズポールピースを開発しました。ユーザーの幅広いニーズに応えます。

広範な信号検出装置群 ※オプション

大口径100mm2 EDS (エネルギー分散型X線分光器) やEELS (電子エネルギー損失分光器) の装着に加え、反射電子検出器、最大4種類のSTEM観察検出器が装着可能です。

幅広い加速電圧の設定に対応

加速電圧300kVと80kVが標準で構成されています。オプションにて40kV~300kVの範囲で目的に合わせた加速電圧の構成に対応します。

ドライ試料予備排気と高真空を実現した真空排気系

予備排気系に標準でターボ分子ポンプを装備するとともにカラム排気系を強化することで高いレベルの真空を実現し原子レベルでの像観察や分析において汚染や損傷を最小化しました。

高安定な鏡筒・架台、安定化試料ステージ、高い電気的安定度

330mmの鏡筒直径で機械的剛性を高め、JEM-ARM200Fで培った安定化技術を基に機械的・電気的安定性、耐環境性を強化しました。

仕様 SPEC

標準加速電圧 300kV 及び 80kV
バージョン 超高分解能構成 高分解能分析構成
STEM分解能(300kV)STEMコレクター搭載時 0.063nm 0.082nm
TEM分解能(300kV)TEMコレクター搭載時 格子分解能 0.05nm 0.06nm
非線形情報限界 0.06nm 0.08nm
線形情報限界 0.09nm 0.12nm

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