• 特長
  • 仕様
  • アプリケーション
  • 関連商品
  • more info

特長 STRONG POINT

JSM-IT500 InTouchScope™ 走査電子顕微鏡
JSM-IT500はJEOL InTouchScope™シリーズのニューモデルです。
視野セットからレポート作成まで、分析業務のためのソフトが一つになって作業スピードがアップ!できます。
操作もさらに容易になった Borderless SEM です。

動画紹介

◆上のボックス内の再生ボタンをクリックするとムービーが始まります(約2分)
◆ 走査電子顕微鏡 JSM-IT500 InTouchScope™の特徴、機能についてご紹介しています。

3つのキーポイント 毎日の分析業務をさらに早く!より楽に!

JSM-IT500 3つのキーポイント(Zeromag, Live Analysis, データ一元管理ソフト)

キーポイント1 Zeromag

ホルダーグラフィックやCCD画像から視野探し & 分析位置指定が可能です。視野探しが素早く快適になります。 多視野連続分析の位置予約も容易です。

キーポイント2 Live Analysis (A/LAのみ)

観察中にEDS分析を行います。
観察画面上にEDSスペクトルが表示されます。 注目元素にアラートを付ければ発見も容易になります。

キーポイント3 データ一元管理ソフト

データの見直しや再解析およびSEM像からEDS分析まで全データのレポート一括作成が行えます。データ管理アイコンまたは測定済データ一覧からデータ管理画面を起動し、データを選択すれば、ワンクリックでレポートにまとめることができます。

キーポイント1 Zeromag ~広視野の光学CCD画像とSEM像をBorderlessにつなぐ~

高倍率観察までスムーズに!
光学CCD画像とSEM画像の境界を意識せず、Borderlessに操作できるため、作業効率が大幅に向上します。

JSM-IT500 Zeromag

Zeromagから広領域の観察とEDS分析が簡単に自動で行えます。

JSM-IT500 Zeromag上でモンタージュ設定
Zeromag上でモンタージュ設定
 
JSM-IT500 反射電子組成像 JSM-IT500 Ca元素マップ
モンタージュ結果 4×4 (左:反射電子組成像 右:Ca元素マップ)
試料:コンクリート 加速電圧:15kV
高真空モード 撮影範囲:約4mm×3mm

Zeromagにより、全体像が把握できる広領域モンタージュの視野選択が容易に行えます。モンタージュは破面解析や広領域の異物の把握など、広い領域に対して細かい情報が必要なときに便利な機能です。

キーポイント2 Live Analysis ~SEMとEDSをBorderlessにつなぐ~

Live Analysisは、観察している領域のEDS分析を常に観察画面上で行う機能です。
予期しない元素や注目元素を「見つける」「気づける」確率の向上が期待できます。
JSM-IT500 Live Analysis


元素表示測定視野中に存在する主元素を表示します。
元素を指定してアラートを表示することもできます。

スペクトル表示測定視野の特性X 線スペクトルと自動定性分析結果を常時表示します。

ワンクリックで電子顕微鏡操作画面と分析詳細表示画面を切り替えられます。

キーポイント3 データ一元管理ソフト SMILE VIEW™ Lab ~レポート作成もBorderless~

SMILE VIEW™ Labは、ステージ位置に連動したCCD画像、SEM画像、EDS分析結果等のデータを一元管理し、短時間でレポートを作成できるデータマネージャーです。 過去に取得したデータの見直しや再解析、レポートへの展開も簡単に行うことができます。


各視野の名称が表示されます。
JSM-IT500 各視野の名称

試料の名前、作成日時、データ種別等からデータを検索することができます。
JSM-IT500 SMILE VIEW™ Lab

ホルダーグラフィックまたはCCD画像上に、各視野の位置を表示します。

選択した視野の元素マップ、スペクトル等のデータや定量分析結果が一覧表示されます。
選択した視野の元素マップ、スペクトル等の データや定量分析結果の一覧表示
 

関連リンク

仕様 SPEC

分解能 高真空モード 3.0 nm (30 kV)  15.0 nm (1.0 kV)
低真空モード※1 4.0 nm (30 kV BED) 
写真倍率 ×5~×300,000
(128 mm×96 mmを表示サイズとして倍率を規定)
表示倍率 ×14~×839,724
モニタ上の画像倍率 (358 mm×269 mmを表示サイズとして倍率を規定)
電子銃 Wフィラメント 完全自動ガンアライメント
加速電圧 0.3kV~30kV
照射電流 1pA~1μA
低真空圧力設定範囲※1  10~650Pa
対物レンズ絞り 3段 XY微調整機能付き
自動機能 フィラメント調整、ガンアライメント調整、
フォーカス/非点/明るさ/コントラスト調整
最大試料寸法 200 mm径×75 mm高さ
200 mm径×80 mm高さ※オプション
32 mm径×90 mm高さ ※オプション
試料ステージ 大形ユーセントリック式
X:125 mm Y:100 mm Z:80 mm
傾斜:-10~90° 回転:360°
モンタージュ機能 標準装備
測定位置座標表示 203 mm径
標準レシピ あり(EDS条件を含む ※2)
画像モード 二次電子像、REF像、
 組成像 ※1、凹凸像 ※1、立体像 ※1 等
画像取り込み画素数 640x480  1,280x960 
2,560x1920  5,120x3,840
OS Microsoft®Windows®10 64bit 
観察モニター 23型タッチパネル
EDS機能※2 スペクトル分析、定性分析・定量分析、ライン分析(水平ライン分析、任意方向 ライン分析)、
元素マッピング、プローブ トラッキング 等
計測機能 あり(2点間距離、平行線間隔、 角度、直径等)
データ管理機能 SMILE VIEW™ Lab
レポート作成機能 SMILE VIEW™ Lab
言語切換 UI上で可能(日本語、英語)
排気系 完全自動 TMP:1台 
RP:1台または2台※1 

脚注:Windows は、米国 Microsoft Corporation の、米国およびその他の国における登録商標または商標です。

主なオプション

  • 反射電子検出器(BED) ※1
  • 低真空二次電子検出器(LSED)
  • エネルギー分散形X線分析装置(EDS)※2
  • 波長分散形X線分析装置(WDS)
  • 後方散乱電子回折検出器(EBSD)
  • ロードロックチャンバー(予備交換室)
  • ステージナビゲーションシステム(SNS)
  • チャンバースコープ(CS)
  • オペレーションパネル
  • 3D計測ソフト
  • 操作テーブル

※1 JSM-IT500LV/LA 標準機能です。
※2  JSM-IT500A/LA 標準機能です。

ギャラリー GALLERY

関連商品 RELATED PRODUCTS

インフォメーション MORE INFO

本製品・関連製品のキャンペーン

導入事例