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特長 STRONG POINT

JSM-IT700HR InTouchScope™ 走査電子顕微鏡

毎日使うSEM。だから、使いやすく。

技術革新とともに観察対象は日々小さくなってきています。
そのような微細化していく試料を日常的に測定しなければならないという声からJSM-IT700HRは誕生しました。
最高分解能1 nm、最大照射電流300 nAを発揮する電子銃は観察・分析に余裕を感じさせてくれます。
さらに、シンプルな操作にこだわったユーザーインターフェイスとコンパクト設計でありながらも大きな試料室により測定は誰でも自由自在。
「見える」よりも「楽に見える」。だから、JSM-IT700HR。

紹介動画

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Zeromag & Autofunctions

光学像を拡大すればSEM像に

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Zeromag and Autofunctions
Zeromagは、ホルダーグラフィックや光学像とSEM像が連動する機能です。
複数の試料をホルダーにセットした場合や特定箇所を観察する場合の視野探しが容易になります。
※光学像を表示するにはオプションのステージナビゲーションシステム (SNS) が必要となります。

Integrated EDS & Live Analysis

観察と分析が一体化

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Integrated and Live Analysis

SEM操作画面内でEDSの分析操作ができるため、観察と分析の垣根がありません。
Live Analysisは、常に特性X線スペクトルを表示させる機能です。

SMILE VIEW™ Lab

測定後は楽々レポート作成

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SMILE VIEW(TM) Lab

JEOL独自のデータ管理ツール。光学像、SEM像、EDS分析結果などが紐づいて保存されます。
測定後の報告書作成も1クリックで作成可能です。装置とは別のPCでオフライン解析用ソフトウェア※1を使用することにより装置の稼働率を上げることができます。

※1 オフラインデータ解析ソフトウェア(オプション)が必要です。
※2 officeのインストールが必要です。

信号深さ表示

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信号深さ表示

新開発した信号深さ表示機能は、SEMのGUIに組み込まれ、測定している試料の分析深さ (目安)  を即座に知ることができます。
元素分析の際に有効です。

オートビームアライメント (ABA)

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電子線の軸(ビームアライメント)がずれている際に自動調整できる機能です。

モンタージュ機能による広域観察・分析

Zeromag上でモンタージュ設定
Zeromag上でモンタージュ設定
右:SEM像、左:EDSマップ像(Cu K)
モンタージュ結果 6×6 (左: 反射電子像、右: Cu元素マップ)
試料: 真鍮製ねじの平面ミリング断面*、加速電圧: 20 kV、低真空モード (20 Pa)、撮影範囲: 6.4 mm × 4.8 mm

*機械研磨後、IB-19530CPにより平面ミリング加工

モンタージュとは、繋ぎ合わせ機能です。
広い領域を繋ぎ合わせて高画素データにすることができるので、一つのデータから細かい情報まで知りたい時に便利な機能です。

カタログ

特殊試料ホルダーのご案内

仕様/オプション SPEC / OPTION

アプリケーション APPLICATION

JSM-IT700HRで広がる微細な世界

ナノ材料

カーボンナノチューブ

カーボンナノチューブ
加速電圧:2 kV 信号:二次電子 倍率:×100,000

低加速電圧で観察することにより、電子線が試料に透過せずにチューブ1本ずつが明瞭に観察できています。

カーボン中のPt触媒

カーボン中のPt触媒
加速電圧:10 kV 信号:二次電子(左)、反射電子(右) 倍率:×100,000

電子部品

セラミックコンデンサの割断面

セラミックコンデンサの割断面
加速電圧:5kV 信号:反射電子 倍率:×1,000 (左) ×10,000 (右)

半導体 (SRAMのCP断面)

半導体 (SRAMのCP断面)
加速電圧:5 kV 信号:反射電子 倍率:×60,000 (左、右)
IB-19520CCP

クロスセクションポリッシャ™ (以下、CPとする) は、 ブロードなArイオンビームと遮蔽板を用いて試料の 断面を加工する断面試料作製装置です。 CPは金属、セラミックス、プラスチック等、様々な 材料で断面加工をすることが可能であり、近年、多方面において活用されています。
詳しくはこちら

金属材料

広域モンタージュ測定

ステンレスの破断面

ステンレスの破断面
加速電圧:15 kV 信号:二次電子 倍率:×500 視野数:13×6

破面全域を観察することで破壊の機構を詳細に解析することができます。この試料では疲労破壊で発生したストライエーションと呼ばれる縞模様やディンプルといった小さなくぼみが観察されております。

元素分析:EDSマップ

精密切断刃のCP断面

精密切断刃のCP断面
加速電圧:15 kV 信号:反射電子 (左) EDSマップ (右) 倍率:×3,000

精密切断刃の断面に存在する重金属元素について、重複マップを利用することで、元素の分布がわかりやすくなります。

高倍率EBSD測定

ステンレス線の長手方向CP断面

ステンレス線の長手方向CP断面

Image Quality 像(左)、相マップ像(右)

EBSDマップ像 (向き:Direction 3)

EBSDマップ像 (向き:Direction 3)
加速電圧:10 kV 照射電流:5 nA 倍率:×10,000

ソフトマテリアル

ゴム中のカーボンブラック

ゴム中のカーボンブラック
加速電圧:15 kV
信号:二次電子
倍率:×20,000

ラテックス製手袋

ラテックス製手袋
加速電圧:5 kV
信号:低真空反射電子
倍率:×30,000

鶏の卵殻膜

鶏の卵殻膜
加速電圧:5 kV
信号:低真空二次電子
倍率:×500
低真空モード

低真空モード

低真空機能を利用することで、絶縁物を導電処理せずに観察できます。対物レンズ付近で排気を行うことにより低真空モードの画質が大きく向上しました。

食品

アイスクリーム

アイスクリーム
加速電圧:7 kV 信号:低真空反射電子 倍率:×300 (左) ×3,000(右)

鶏肉の脂肪球と筋繊維

鶏肉の脂肪球と筋繊維
加速電圧:10 kV
信号:低真空反射電子
倍率:×300
LV冷却ホルダー

LV冷却ホルダー※1

LV冷却ホルダーを利用することで、食品などの含水試料も水分を保持した状態で凍結させそのまま観察できます。氷の大きさや筋繊維の太さなどを知ることで食感を可視化できます。
※ 1 LV 冷却ホルダーはオプションとなります。

生物

大腸菌とT4ファージ

大腸菌とT4ファージ(倍率 ×25,000)
加速電圧:2.5 kV
信号:二次電子
倍率:×25,000

 

大腸菌とT4ファージ(倍率 ×80,000)
加速電圧:2.5 kV
信号:二次電子
倍率:×80,000

マウスの腎臓のミトコンドリア

マウスの腎臓のミトコンドリア
加速電圧:2.5 kV
信号:二次電子
倍率:×50,000
JFD-320 凍結乾燥装置

JFD-320 凍結乾燥装置※2

乾燥装置を利用することで、乾燥時の表面張力の影響を 最小限に抑えて含水試料を乾燥させることができます。 大腸菌とT4ファージの試料作製:グルタールアルデヒド・四酸化オスミウム固定後、臨界点乾燥を行いました。 マウスのミトコンドリアの試料作製:オスミウム浸軟処理後、凍結乾燥を行いました。
詳しくはこちら
※ 2 凍結乾燥装置はオプションとなります。

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