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特長 STRONG POINT

JXA-8530FPlus フィールドエミッション電子プローブマイクロアナライザ(FE-EPMA)
フィールドエミッション電子銃を搭載したEPMA(FE-EPMA)はJEOLが2003年に世界に先駆けて商品化して以来、金属、材料、地質などの諸分野で広く使用され、高い評価を得てきました。 JEOLにとって第3世代となるJXA-8530FPlusは、光学系を大幅に強化し、また新開発のソフトウェアにより、ハイスループットにより多くのアプリケーションを提供できる装置として開発されました。実績のある安定性をそのままに幅広い要求に応えるFE-EPMAです。

In-lens Schottky Plus FEG EPMA version

In-lens Schottky Plus FEG EPMA versionは、角電流密度の最適化を行い、2 μA以上の大電流による分析が可能になりました。また分析条件時の2次電子分解能が向上しました。

Advanced software

Windows®ベースの操作環境に新開発のより簡単に微量の分析ができる「微量元素分析プログラム」、自動で相マップが作成できる「フェイズマップメーカ」、凹凸試料を簡単入力で測定できる「凹凸試料分析プログラム」など、多彩なソフトウェアを用意しています。

脚注:Windows は、米国 Microsoft Corporation の、米国およびその他の国における登録商標または商標です。

Flexible WDS configuration

ローランド円に140Rと100RのX線分光器を選択できます。 ローランド円の半径が140RのXCE・L形X線分光器は分光範囲が広く、波長分解能やP/B比が優れております。100RのH形X線分光器はX線強度が高いといった特徴があり、目的に応じて選択できます。

Combined WDS/EDS system

自社製30mmSD検出器(以下SD検出器)を標準で装備しています。 高係数率を誇るSD検出器を採用することによりWDS分析条件と同条件での測定が可能になりました。簡単操作でEDSスペクトルを収集します。

Multipurpose chamber

拡張性の高い試料室、試料交換室を装備しており、様々なアタッチメントを装着することができます。

装着可能なアタッチメント例

  • 結晶方位解析装置(EBSD)
  • カソードルミネッセンス検出器
  • 軟X線分光器
  • 大気非暴露対応トランスファーベッセル
  • 高速エッチングイオン銃
Multi purpose chamber

Powerful clean vacuum system

2台の磁気浮上形ターボモレキュラーポンプを含む、high-powerな真空系です。 また鏡筒に中間室を2段用意し、差動排気を実現することにより電子銃室の高真空を保ちます。

Soft X-ray Emission Spectrometer (SXES)

SXES (Soft X-Ray Emission Spectrometer) 軟X線分光器
東北大学多元物質科学研究所(寺内正己教授)、日本電子株式会社などが共同開発した、高分解能X線分光器です。
新開発不等間隔溝回折格子により、Li-KやB-Kスペクトルを同時に高感度CCDで検出します。分解能が非常に高く、化学結合状態分析などができます。
高分解能X線分光器

miXcroscopy (Correlative microscope)

miXcroscopy 光学顕微鏡/走査電子顕微鏡リンクシステム
光学顕微鏡で指定した座標データをEPMAの分析点として一括登録できます。光学顕微鏡で分析位置を決める必要のある試料に最適なシステムです。

仕様 SPEC

分析元素範囲 WDS: (Be) B~U,EDS: B~U
X線分光範囲 WDS分光範囲 : 0.087~9.3nm,
EDSエネルギーレンジ : 20keV
X線分光器数 WDS : 1~5基選択、 EDS : 1基
最大試料寸法 100mm × 100mm × 50mm (H)
加速電圧 1~30kV (0.1 kVステップ)
二次電子分解能 3nm (W.D. 11 mm, 30kV)
20nm (10kV, 10nA, WD11mm)
50nm (10kV, 100nA, WD11mm)
走査倍率 × 40 ~ × 300,000 (WD 11mm)
走査像解像度 最大 5,120×3,840

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