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特長 STRONG POINT

OmniProbe 350 FIB-SEM試料室内ナノマニピュレーター

Oxford Instruments社製OmniProbe350は、高精度でかつ滑らかなプローブ操作を行うことができるナノマニピュレーターです。
複合ビーム加工観察装置JIB-4700Fに取りつけることにより、SEMおよびFIBで観察しながらリフトアウト作業を行えます。
JIB-4700Fの試料室内でTEM試料作製の一連の過程を完結することができます。

  • 直感的なプローブ操作
    プローブ操作はSEMおよびFIBの観察方向により定義された座標軸で制御できます。
  • 優れた直線性
    プローブはすべての方向に直線的に移動できますので、溝の側面にぶつかることなく、安全なリフトアウトが行えます。
  • 正確な動き (位置保存含む)
    プローブを格納位置からワンクリックで操作位置に移動することができます。
    また、ユーザー定義の作業位置を保存し、その位置に呼び戻すことができます。
  • 低振動、低ドリフト
    アイドル時の振動やドリフトを最小限に抑え、リフトアウト時の失敗のリスクを軽減します。
  • In-situ チップ交換
    電子顕微鏡のチャンバーをベントすることなく、プローブニードルを短時間で交換可能です。

OmniProbe 350を使用したTEM試料作製フロー

1. 試料ブロックの作製
1.試料ブロックの作製
2. OmniProbeを試料に接触
2.OmniProbeを試料に接触
3. 試料ブロックのリフトアウト
3.試料ブロックのリフトアウト
4. グリッドへ搬送
4.グリッドへ搬送
5. 試料ブロックの固定
5.試料ブロックの固定
6. 薄膜加工
6.薄膜加工

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OXFORD INSTRUMENTS

仕様/オプション SPEC / OPTION

本体部 ストローク X:±2mm、Y:±1mm、Z:44mm
移動速度 最小:50nm/s、最大:500μm/s
最小ステップ移動距離 50nm以下
制御部 コントローラー、PC、モニター、ソフトウエア
必要ユーティリティ AC 90 -264 V、47 – 63 Hz  1口
適用機種 JIB-4700F

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