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特長 STRONG POINT

IB-07080ATLPS, IB-77080ATLPS 自動TEM薄膜作製システム STEMPLING

自動TEM薄膜作製システム STEMPLINGはFIBによるTEM試料作製を自動化するソフトウェアです。
ユーザーの技術レベルに依存しない試料作製や大量の試料が作製できる技術などFIBの試料作製に対する要求に対応するために開発されました。STEMPLINGにより、試料作製に高度なスキルは不要となり、誰でも簡単に試料作製が行えます。また、複数試料の自動作製が行えますので、夜間に大量の試料作製を行うなど、作業効率の最適化が実現できます。
複合ビーム加工観察装置 JIB-4700Fと集束イオンビーム加工観察装置 JIB-4000PLUSで使用可能です。

簡単な設定で様々な試料作製が可能

STEMPLINGに標準搭載されているスタンダードレシピにより、TEM試料や断面試料などの5種類の試料が作製可能です。
FIBによる試料作製のさまざまなシーンでご使用いただけます。

図1 スタンダードレシピにより作製可能な試料 試料:シリコンウエハー

図1 スタンダードレシピにより作製可能な試料 試料: シリコンウエハー

自動加工で複数の試料作製が可能

イオンビーム自動調整機能により、長時間にわたる多試料の自動作製が行えます。
これにより、夜間の無人試料作製が可能です。
約8時間、連続してTEM試料作製を行った結果を図2に示します。
10個の試料を作製していますが、どの試料も同じように作製でき、安定した自動試料作製が行われたことが分かります。

薄膜サイズ: 幅10μm×高さ7μm
薄膜厚み: 100nm

図2 長時間の連続TEM試料作製の例 (8時間) 試料: シリコンウエハー

段差のある試料でも安定した試料作製が可能

自動ユーセントリック調整機能により、段差のある試料や高さの異なる試料などでも安定した自動試料作製が行えます。
約70μmの段差のある試料で薄膜試料を作製した結果を図3に示します。段差の上下で正しく薄膜試料が作製できています。

図3 段差のあるサンプルでのTEM試料作製 (試料:Siウエハ上のTEM試料メッシュ)

図3 段差のあるサンプルでのTEM試料作製 (試料:Siウエハ上のTEM試料メッシュ)

適用機種

製品名 型式 適用機種
自動TEM薄膜作製システム IB-07080ATLPS JIB-4000PLUS
IB-77080ATLPS JIB-4700F

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