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特長 STRONG POINT

SXES (Soft X-Ray Emission Spectrometer) 軟X線分光器
軟X線分光器(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)は、新開発の回折格子と高感度X線CCDカメラを組み合わせることにより、超高エネルギー分解能を実現したX線分光器です。
EDS同様にパラレル検出可能で、かつWDSが持つエネルギー分解能を超える0.3eV (Fermi端 Al-L基準) の超高エネルギー分解能分析が可能です。
外観図

動画紹介

◆上のボックス内の再生ボタンをクリックするとムービーが始まります(約4分)◆
SXES (Soft X-Ray Emission Spectrometer) 軟X線分光器の特徴、機能についてご紹介しています。

システムの概要

新開発分光系デザインにより、回折格子や検出器(CCD)を動かさずに異なるエネルギーのスペクトルを同時に測定できます。しかも高エネルギー分解能ですので、状態分析マップの収集が可能です。

SXES、WDS、EDSの比較

各分光器における窒化チタン試料のスペクトル

窒化チタンは、WDSにおいてもスペクトルが重畳し、波形分離に数学的手法が必要です。
下図のとおりSXESは高いエネルギー分解能を示します。

比較表

特長 SXES EPMA(WDS) EDS
分解能 0.3 eV
(Fermi端 Al-L)
8 eV (FWHM@Fe-K) 120-130 eV
(FWHM@Mn-K)
化学結合状態分析 可(主に軽元素) 不可
パラレル検出 不可
(但し分光器の数分可)
分光素子と検出器 回折格子+CCD 分光結晶+比例計数管 SDD
検出器冷却 ペルチェ冷却 不要 ペルチェ冷却
検出限界(Bでの参考値) 20ppm 100ppm 5000ppm

Liイオン2次電池(LIB)分析例

LIB充電量の可視化ができる!

Li-K満充試料部のスペクトル

軽元素測定例

炭素化合物のSXESによる測定例

ダイヤモンドとグラファイト、ポリマーの違いが測定可能です。

各種窒素化合物の測定例

窒素も波形より化学結合状態分析できます。硝酸塩と窒化物では全く波形が異なり、ビームに弱いアンモニウム塩も独特の波形が観察できます。

仕様 SPEC

  • エネルギー分解能 0.3eV (AI-L 発光スペクトル@73eV測定)
  • 取得エネルギー範囲 : 回析格子JS50XLでエネルギー領域 50-170eV
  • 取得エネルギー範囲 : 回析格子JS200Nでエネルギー領域 70-210eV
  • 分光器チャンバー取り付け先 : EPMAのWDSポート : NO.2ポート (正面右手前側)
                        FE-SEMのWDSポート (正面左手奥)
  • 分光器寸法 W168mm×D348mm×H683mm ※インターフェイスからCCDを含む距離
  • 分光器重量 25kg

適用機種

  • EPMA : JXA-8530F、JXA-8230、JXA-8500F、JXA-8200
  • SEM : JSM-7800F、JSM-7800 Prime、JSM-7100F

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