BS-102UGA 102UHO/UBシリーズ専用グリッドアッセンブリ
「多層膜蒸着用途」のお客様、「フィラメント寿命でお悩み」のお客様にオススメです
特長
本製品は長寿命フィラメントを搭載した102UHO/UBシリーズ専用のグリッドアッセンブリです。
| P/N | 品名 | 規格 |
|---|---|---|
| 780407580 | グリッドアッセンブリ | BS-102UGA |
特長
長寿命フィラメント搭載
フィラメントの長寿命化を実現
既存グリッドアッセンブリと類似構造
使用条件により2種類のフィラメントを選択可能
イオンスパッタ影響による消耗部品コスト50％削減
部品構成
本製品にはフィラメントは付属されておりません。
| 部番 | パーツナンバー | 品名 | |
|---|---|---|---|
| M500 | 821362542 | ウェーネルト |
|
| M501 | 821362526 | イオンコレクター |
|
| M502 | 820549053 | ホルダーA |
|
| M503 | 821362534 | ホルダーB |
|
| M12 | 801314941 | サポート |
|
| M15 | 802161031 | インシュレータ |
|
| M10 | 411002775 | ボルト M3×8 | - |
| M8 | 411003682 | ボルト M3×12 | - |
| M6 | 411002783 | ボルト M4×6 | - |
| M14 | 411003640 | ボルト M4×25 | - |
各種フィラメント
| パーツナンバー | 品名 | 規格 | |
|---|---|---|---|
| 812180313 | フィラメント
（長寿命タイプ） |
D=0.55φ 5個入 |
|
| 864351704 | フィラメント
（長寿命足補強タイプ） |
D=0.55φ 5個入 |
|
組立治具
| 部番 | パーツナンバー | 品名 | |
|---|---|---|---|
| M504 | 821361210 | BS-102UGA用
組立治具 |
|
参考データ
| 加速試験条件 | 真空度 3.0×10-2Pa O2流量 115mL/min 投入電力 2.4kW （6kV/400mA) |
|---|
社内加速試験による結果です。
標準GAとの溶け跡比較
| 標準GA | 102UGA | 特記事項 | |
|---|---|---|---|
| ZrO2 |
|
|
添付の溶け跡は一例です。
電子銃の状態やチャンバー雰囲気によって溶け具合は異なりますので、予めご了承ください。 使用状況により、エミッション電流が増加する場合がございます。 可能な範囲で溶け跡調整を実施致します。(有償) 
調整後の溶け跡例 |
| SiO2 |
|
|
|
| Ta2O5 |
|
|
標準GAのフィラメントは0.55φスパイラル型です。
