本装置はハイレート金属厚膜蒸着用途に適した電子ビーム蒸着用電子銃です。
長寿命フィラメントを標準採用、Φ50ｍｍ範囲で500Hz以上の高速ビームスキャンに対応するとともに最大16kW出力が可能です。また、電子銃上面の構造物が無く蒸気付着が少ないためメンテナンスが容易です。
特長
BS-60250DEMの主な特長
16kW出力対応 (ハイレート蒸着対応)
最大出力16kW (10kV、1.6A) に対応し、金属膜の高速蒸着を実現します。長寿命フィラメント標準採用
メンテナンスサイクルの長期化に有利な長寿命フィラメントを標準採用しています。大容量ルツボ対応
φ50mmルツボに標準対応し、オプションのポールピースBS-60830PP250を使用することにより100mL以上のφ70mmルツボにも対応*します。
*) ビーム移動・走査可能範囲はφ50mmです。500Hz以上の高速電子ビームスキャン対応
新開発スキャンコイルによるビームスキャン性能の向上により、昇華性材料の均一な蒸発面を実現し、酸化物蒸着にも対応可能です。上面フラット構造 (着膜影響軽減構造)
大容量ルツボ対応
専用オプションのロングポールピースを使用することにより、容量100mL以上のφ70mm大容量ルツボに対応可能です。
メンテナンス性
電子銃上面フラット構造により着膜を軽減、メンテナンス頻度を抑制します。
放電抑止構造対応
電子銃内部の急激な圧力上昇を緩和する構造により、放電発生を抑制します。
低真空下耐放電テスト結果
テスト条件
動作圧力: 0.15Pa一定 (Arガス導入)
ビーム出力: 10kV(8kV), 0.3A, 10分間
ビーム照射材料: W(BS-60250DEM) Ta2O5(従来型電子銃)
電子銃電源: JST-16F/ST-AS10F
各種金属膜の蒸着レート
高出力・高収束電子ビームにより、各種金属膜のハイレート蒸着が可能です。
大容量ルツボによるAlハイレート蒸着例
大容量ルツボと組み合わせて使用することにより、さらなる蒸着レートの増大が可能です。
SiO2顆粒材の溶け跡形状
新開発大口径スキャンコイルによる高速ビームスキャニングにより、誘電体材料の均一な溶融面を実現します。
ビーム照射条件
出力: 1.8kW(10kV, 0.18A)
ビーム照射時間: 5min
スキャン方式: CIRCULAR Scan モード (ICE電源標準機能)
ビームスキャン範囲 : φ50mm
半径方向スキャン周波数: 135Hz
円周方向スキャン周波数: 570Hz
仕様・オプション
| 最大出力 | 16kW(10kV, 1.6A) |
|---|---|
| 加速電圧 | 6～10kV |
| 電子ビーム偏向角 | 270度 |
| ビーム移動・走査可能範囲 | φ50mm |
| X軸走査周波数 | 135Hz |
| Y軸走査周波数 | 570Hz |
| 動作圧力 | 7×10-2Pa以下 |
| 冷却水 | 5～8L/min , 10～25°C |
| フィラメント | φ0.8mm直線コイル形 |
| 質量 | 約14kg |
オプション
形式: BS-60830PP250
名称: ポールピース(大容量ルツボ用ロングタイプ)
外形寸法
