特長
電子ビームボンバード間接加熱法を利用した真空蒸着源です。
従来機種 (BS-60310BDS) にビームスキャン機能を増設したことにより
ハイレート対応、厚膜成膜、大型装置対応等の特長が得られます。
ライナー大容量化。
ハイレート化。従来機種と比較しAlで10倍、Geで40倍を実現しています。
大型装置対応。T-S距離1.1 mでも充分なレートが得られます。
厚膜対応。赤外用途への対応も可能です。
レート安定化。従来機種では難しかった昇華性材料のレート安定化を実現しています。
低ダメージ・低欠陥・低吸収等、従来機種の特長も継承しています。
ボンバード方式による加熱原理（イメージ図）
電子ビーム照射範囲の拡大・ライナー大容量化
ビームスキャン機能の搭載により電子ビーム照射範囲が従来機種より格段に広くなり、ライナーの大容量化が可能となりました。
| BS-60610BDS | BS-60310BDS | 従来比 | |
|---|---|---|---|
| フッ化物用
ライナー容量 |
12.8 cc | 7.5 cc | 1.7倍 |
| アルミ用
ライナー容量 |
9.0 cc | 1.5 cc | 6.0倍 |
厚膜対応
ライナー大容量化により、蒸着材料の充填量が増大します。それにより１点のライナーで蒸着可能な最大膜厚も増大し、赤外用途に対応可能となりました。
また従来機種では難しかったフッ化ランタン等の昇華性材料でも材料利用効率が向上しています。
(最大膜厚はT-S距離1.1 m時)
| BS-60610BDS | BS-60310BDS | 従来比 | |
|---|---|---|---|
| MgF2蒸着
最大膜厚 |
400 nm | 200 nm | 2.0倍 |
| LaF3蒸着
最大膜厚 |
400 nm | 90 nm | 4.5倍 |
| Al蒸着
最大膜厚 |
2500 nm | 250 nm | 10.0倍 |
| Ge蒸着
最大膜厚 |
600 nm | データ未取得 | - |
| Si蒸着
最大膜厚 |
400 nm | データ未取得 | - |
ハイレート化・大型装置対応
電子ビーム照射範囲が拡大することにより電子ビーム電流密度が低下するため、ライナーを損傷させずに最大出力を増大することが可能となりました。また電子ビーム照射範囲の拡大により蒸発面積も拡大しています。
最大出力増大と蒸発面積拡大によりハイレート化を実現しています。
T-S距離1.1 mにおいて、Alでは4 nm / s, Geでは1 nm / sの蒸着レートが得られており、大型装置にも対応可能です。
(Al顆粒使用、 T-S距離1.1 m)
出力対アルミ蒸着レート
Ge蒸着実施例
赤外透過膜に利用されるゲルマニウムでも、ハイレート蒸着（従来比40倍）が可能であり、スループットが向上します。また、蒸着中のスプラッシュを抑制するためライナー形状にも工夫があり、安定蒸着と光学吸収の少ない成膜が可能です。
Ge成膜ではEB蒸着と比較して、スプラッシュと表面粗さ数値が小さい成膜を実現しています。
MgF2蒸着実施例
BS-60610BDSとEBで同一条件でMgF2蒸着した際の、透過率と反射率の合算値の比較データです。
BS-60610BDSは、300 nm付近で光学吸収の少ないMgF2の成膜ができることが特長です。
MgF2単層膜の膜厚分布データです。
Al蒸着実施例
BS-60610BDSとEB蒸着の、Al膜の反射率特性の、3バッチの比較データです。
BS-60610BDSでは、分光特性の再現性が高く (バラツキが少なく)、高い反射率を実現しています。
Al膜の算術表面粗さのデータです。EB蒸着と比較して表面平滑性が改善しています。
多種材料の蒸着が可能
以下は蒸着可能材料の一覧です。各蒸着材料に適したライナーが必要です。
| 蒸着材料 | 応用例 |
|---|---|
| MgF2, LiF, CaF2, YbF3 | AR (紫外～赤外) |
| YF3 | AR, 赤外透過膜 |
| LaF3 | AR, レーザーミラー |
| WO3 | 電気変色膜 |
| SiO | AR(赤外), 保護膜 |
| Si, Ge | 赤外透過膜 |
| Al, Ag, Cu, Au | 電極膜, 反射膜 |
| ZnS | 赤外透過膜 |
| Mg | 電極膜 |
| Sn, In | はんだ膜 |
低ダメージ成膜 / 低欠陥成膜 / 低吸収
BS-60310BDSと同等ですので、BS-60310BDS をご参照ください。
仕様・オプション
基本仕様
| 出力 | 最大 4.8 kW (※1) |
|---|---|
| 冷却水 | 4～5 L / min, 水温 10 ～ 25°C |
| 動作圧力 | 5×10-5 ～ 1×10-2 Pa |
標準構成
| BS-60610BDS | ボンバード蒸着源 本体 6点ライナータイプ (※2,※3) |
|---|
オプション品
| BS-60600RF | ルーフ (6点式) ※4 |
|---|---|
| BS-60620LN | ライナー (フッ化物用シングルライナー1個) |
| BS-60660LN | ライナー (アルミ用ライナー3点セット) |
| BS-60690SK | カバー ※5 |
最大出力はライナーの種類に依存します。
電子銃電源BS-72010ICEが対応電源です。BS-60610BDSにライナーは含まれません。
オプション品の購入が必要です。ライナーは性能に大きく影響しますので、必ず当社オプション品をご使用ください。ライナー点数変更は別途ご相談に応じます。
基板温度上昇を抑える場合に使用します。
加熱効率を向上させるリフレクタの役割があり、通常使用することを推奨します。
対応電子銃電源
| BS-72010ICE | 蒸着源1台仕様 |
|---|---|
| BS-72050ICE | 蒸着源2台仕様 |
JST-Fシリーズには対応しておりません。
BS-60610BDSは、加速電圧-6 kV専用です。
ライナー温度分布の均一性向上のために、ACRモードでの使用を推奨します。
外形寸法
| 外形寸法 | 345 mm (W) × 355.5 mm (D) × 181.5 mm (H) |
|---|---|
| 質量 | 22 kg |
適用フィラメント
P/N 780034732
10個 / 箱
Φ 0.8 渦巻き
203 / 303用
102に適用も可能
適用フィラメントアッセンブリ
P/N : 864560877
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