日本電子の電子ビーム蒸着用電子銃電源は操作部および制御部より構成され、電子銃との組み合わせにより、安定した出力で制御できるように設計された高融点金属または化合物などの蒸着用高性能高圧電源です。
特長
高速自動復帰回路および放電抑止装置により、電子ビーム蒸発源の放電による悪影響を抑止します。
電子ビームの放電抑止装置は電源に内蔵され、制御部はコンパクトです。
スキャニング状況はモニタを通じてブラウン管またはアナログメータにて確認できます。
外部入出力端子はエミッション電流、電子銃のON-OFF、XYスキャニング、インターロックなどが標準仕様です。また、ユニットの追加によりCPUコントロールも可能です。
仕様により電子銃電源１台で最大二台までの電子銃制御が可能となり、また同時に照射することができます。
制御盤の回路の一部は、交換容易なプラグインユニットを使用し、保守が迅速かつ容易です。
仕様・オプション
| 型式 | 最大出力 | 加速電圧 | エミッション電流 |
|---|---|---|---|
| JST-3C | 3kW | -4 ～ -7kV | 0 ～ 0.5A |
| JST-10C | 10kW | -4 ～ -10kV | 0 ～ 1A |
| JST-16C | 16kW | -8 ～ -10kV | 0 ～ 1.6A |
| JST-30C | 30kW | -10～ -15kV | 0 ～ 2A |
