13.56MHz・0.5kW/1kW/3kW/5kW 出力のプラズマプロセス用RF電源です。高効率RFアンプを搭載することで小型・軽量化を実現しています。
さらにRF電源にオートマッチングコントローラ機能を内蔵していますので、本体ユニットのみでRF電源の電力制御、マッチングシステム制御が可能です。
特長
特長
高効率アンプ採用
電力変換効率の良いRF回路を構成し、省エネルギー高速オートマッチング
高速アルゴリズムにより高速オートマッチングを実施RF電源にオートマッチング機能を内蔵
本体ユニットのみでマッチングシステム制御が可能
内蔵のコントローラでRF電源・マッチングボックスのマニュアル操作も可能柔軟な制御形態に対応
外部アナログ制御、シリアル通信制御が可能高信頼性
装置メーカーとして蓄積したノウハウを設計にフィードバック
用途
スパッタリング装置
CVD装置
プラズマエッチング装置
RFイオン源
ニュートラライザ
使用例
仕様・オプション
| 最大出力 | 500W | 1kW | 3kW | 5kW |
|---|---|---|---|---|
| 最大反射電力 | 100W | 100W | 500W | 500W |
| 出力コネクター | N 型 | N 型 | HN型 | DIN_7/16型 |
| 発振周波数 | 13.56MHz±0.01% | 13.56MHz±0.01% | 13.56MHz±0.01% | 13.56MHz±0.01% |
| 入力電圧 | 単相 200V~220V | 単相 200V~220V | 三相 200V~220V | 三相 200V~220V |
| 入力容量 | 1.2KVA | 1.8KVA | 5KVA | 8KVA |
| 出力安定度 | ±2％以下 (50Ω抵抗負荷で最大出力時) | ±2％以下 (50Ω抵抗負荷で最大出力時) | ±2％以下 (50Ω抵抗負荷で最大出力時) | ±2％以下 (50Ω抵抗負荷で最大出力時) |
| 高周波歪率 | - 35dB（定格出力時連続モード/５０Ω負荷） | - 35dB（定格出力時連続モード/５０Ω負荷） | - 35dB（定格出力時連続モード/５０Ω負荷） | - 35dB（定格出力時連続モード/５０Ω負荷） |
| 冷却方式 | 強制空冷 | 強制空冷 | 強制空冷＋水冷方式 | 強制空冷＋水冷方式 |
| 寸法 | 240㎜（幅）495㎜（奥行）150㎜（高） | 240㎜（幅）495㎜（奥行）150㎜（高） | 240㎜（幅）495㎜（奥行）150㎜（高） | 240㎜（幅）495㎜（奥行）150㎜（高） |
| 質量 | 11㎏ | 11㎏ | 23㎏ | 23㎏ |
ＤＣ電源も取り扱いしております。ご相談ください。
