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スパッタリングやエッチング、CVD、イオンプレーティングなど薄膜作製/加工用で使用される13.56MHzのプラズマ発生用高周波電源(RF電源)です。

RF-120シリーズはDeviceNet、RS232C、アナログの各インターフェイスを標準装備し、パターン運転、アークカット/カウント機能、過去データ記憶などを装備した多機能電源です。また各電源と組み合わせる整合装置(マッチングネットワーク)もご用意しています。

特長

機能

  • パターン運転
    RF電源内部に予め設定した出力と時間のデータを基に自動的に出力を制御 
    1パターン最大5ポイントを3パターン設定可能

  • アークカット機能

  • アークカウント機能
    アーク発生回数をカウントし、設定した回数に達すると出力停止

  • パルス運転 (オプション)
    パルス周期:100Hz~10kHz, デューティ:20~80 %
    ※パルス発生器は別途必要

  • 同期運転
    他の高周波電源と接続し、同期させて運転が可能

  • スロースタート・スローダウン

  • 反射リミッタ継続制限
    反射電力リミッタが動作してからの経過時間を計測し、設定した時間に達すると出力停止

  • 過去データ記憶
    異常発生時点から過去30秒の内部データを外部へ出力

  • マッチング完了確認
    反射電力が設定値以下になると確認信号を出力

  • アークカット動作確認出力

  • リミッタ動作確認出力

  • 入射・反射電力モニタ出力

  • 入力電源投入確認出力

  • RF出力確認出力

  • 異常確認信号出力

  • 各種インターフェイス標準装備
    DeviceNet, RS232C, アナログ

  • CEマーク適合(一部機種除く)

オプション機能

  • 手動操作盤 (RF-56000)

  • 異相信号発生器 (Phase Shifter)

  • 水冷式導入端子 (イオンプレーティング用)

使用例

使用例

仕様・オプション

RF-12010 RF-12020 RF-12030 RF-12040
最大出力 750W 1.5kW 3kW 6kW
出力コネクタ N 型 LS2型
入力電圧 AC 200V ±10V, 三相, 50/60 Hz
入力電流 AC 5A AC 8A AC 20A AC 35A
発振方式 他励式水晶発振
発振周波数 13.56MHz ±0.005%
出力安定度 ±0.5%以下 (最大出力, 対50Ω抵抗負荷)
リップル 1%以下 (最大出力, 対50Ω抵抗負荷)
高調波歪 - 50dB (最大出力時)
冷却方式 強制空冷 水冷
5~7L/min 5~6.5L/min
外形寸法 (mm) 481 481 481 481
奥行き 430 504 504 510
高さ 149 199 199 349
質量 (kg) 18 25 27 55
  • RF-12040はUnit1(149mmH/25kg)とUnit2(199mmH/30kg)から構成されます。

  • 外形寸法は突起物(背面のファン等)を含みません。
    RF-56000 外形寸法 : 105mm(W)×305mm(D)×145mm(H)

カタログダウンロード

アプリケーション

RF-120seriesに関するアプリケーション

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