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断面試料作製装置
本装置は、ドライ排気されたチャンバ内で、イオンビームで試料加工を行います。試料移動機構は、イオンビームに対する平行度と照射位置調整ができるため、容易に試料位置決めができます。遮蔽材に沿いイオン照射させ断面を形成させるSEM/EPMAなどの試料作製装置です。
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