JXA-8500F フィールドエミッション電子プローブマイクロアナライザ

極微の分析 HYPER PROBE

フィールドエミッション(FE)高輝度電子銃を搭載した最新のEPMA。
極微領域と極微量の元素分析を短時間で実現。
フィールドエミッション電子プローブマイクロアナライザ

特長

現在販売中の後継機種は、JXA-8530F　となります。

JXA-8500F は、FE 電子銃、電子光学系、真空排気系などを全く新しく開発した、高分解能

高性能フィールドエミッション電子プローブマイクロアナライザです。FE 電子銃が実現した極微プローブは、低加速電圧で分析照射電流範囲にわたり、サブミクロンの分析分解能と微量元素の高感度X線検出を可能としました。

分析元素範囲	5B～92U（4Be～※1）
X線分光範囲	0.087 ～ 9.3nm
X線分光器数	1 ～ 5 基選択　（全分光器：スキャナー形）
最大試料寸法	100mm × 100mm×50mm (H)※2
最大分析領域	90mm × 90mm※2
試料ステージ最大駆動速度	15mm / S※2
加速電圧	1 ～ 30 kV （0.1 kV ステップ）
照射電流範囲	1 × 10-11～　5 × 10-7 A
照射電流安定度	±0.5%/h
二次電子像分解能	3nm (WD11mm、30kV)
分析条件最小プローブ径	40nm（10kV、1×10－8A） 100nm（10kV、1×10－7A）
アプリケーション	エキスパート定性分析、定量分析、半定量分析、検量線分析、線分析、面分析、連続自動分析、複合マップ分析、ミニチュア表示、ファイル検索など