JSM-IT100は、日本電子が50年にわたり培ってきたSEMの技術を活かしたコンパクトで多機能な走査電子顕微鏡です。
本装置は、InTouchScope™シリーズで好評を得てきた操作性に加え、上位機種と同様の拡張性を備えたスタンダード機として開発されました。バイオテクノロジーやナノテクノロジーの分野をはじめとして、材料開発、検査、評価、欠陥解析、さらには品質管理に至るまであらゆる分野のニーズでご利用いただけます。
特長
「InTouchScope™」は、2010年の販売開始以来、世界中のお客様にご利用頂いており、累計出荷台数が1,000台を超えるタングステンSEMのベストセラー機です。
タッチパネル操作により直感的で快適な操作が可能
タッチパネル採用で、直感的に操作できます。
オペレーションパネル*、マウスでの操作も可能で、ユーザーの好みに合わせた選択が可能です。
初心者でも分かりやすい操作手順を実現
ワンタッチでSEM/EDSの切換が行える完全インテグレーションされたGUIを搭載しているので、観察から元素分析まで同一ウィンドウで操作ができます。一貫とした操作手順で初心者の方にも簡単・安心に操作いただけます。
試料交換ナビは順番通りにボタンを押すことで試料交換がスムーズにできます。
モーター駆動ステージ*とステージナビゲーションシステム*を装着することで視野探しが光学顕微鏡の感覚で行えます。
EDSガイド搭載で元素分析の操作をアシストします。
上位機種と同様なオプション装着が可能なオールインワンSEM
低真空機能を搭載することで、非導電性試料も前処理なしで観察・分析が行えます。
低真空観察や元素分析にとどまらず5軸モーター駆動ステージ*が搭載可能になったほか、加速電圧を30kVまで拡張するオプションも選択可能です。*
エリア分析や線分析等のEDS機能を拡充
日本電子製EDSを搭載し、同一ウィンドウでSEM/EDSの切換が可能な完全インテグレーションGUIを実現しました。
InTouchScope™シリーズのEDS機能にエリア分析、線分析やリアルタイムフィルター機能を拡充しました。
省設置スペースのうえ、電源は100Vコンセントのみ、冷却水不要のため設置が容易
当社従来機種に比べて、設置面積を約30%削減し、卓上SEM並のスペースに設置することが可能になりました。
電源は100Vコンセントで使用可能。冷却水も不要のため、設置が容易で場所を選びません。
オプション
仕様・オプション
| 分解能 | 高真空モード: 3 nm(30 kV *1) 4 nm(20 kV)、8 nm(3 kV) 15 nm(1 kV)
低真空モード*2: 4 nm(30 kV *1) 5 nm(20kV) |
|---|---|
| 倍率 | × 5 ～× 300,000（画像サイズ128 mm × 96 mmにて） |
| 低真空圧力 | 10 ～ 100 Pa |
| 加速電圧 | 0.5 kV ～ 30 kV *1 (53 段)
0.5 kV ～ 20 kV (43 段) |
| フィラメント | プリセンタードヘアピン型タングステン |
| 電子銃 | 完全自動、手動調整可能 |
| コンデンサレンズ | 電磁2段ズームコンデンサレンズ方式 |
| 対物レンズ | コニカルレンズ |
| 対物絞り | 1段、XY微調整つき |
| 非点メモリ | 有り |
| 試料ステージ | ユーセントリックステージ
X : 80 mm Y : 40 mm Z : 5 mm ～ 48 mm 傾斜: -10°～ + 90°、回転: 360° |
| 最大試料寸法 | 150 mm径 |
| ファイル形式 | BMP、TIFF、JPEG |
| EDS機能*3 | スペクトル分析、定性・定量分析、水平ライン分析、多点線分析、元素マップ分析、プローブトラッキング |
| コンピュータ | デスクトップタッチパネルPC |
| OS | Windows®7 |
| モニター | 23形タッチパネル |
| 標準レシピ | あり |
| カスタムレシピ | 観察条件、試料ステージ、真空モード |
| 自動機能 | フィラメント調整、アライメント調整、
フォーカス、非点、露出調整 |
| 排気系 | 完全自動、TMP : 1台、RP : 1台 |
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主なオプション
加速電圧拡張キット
低真空二次電子検出器
ステージナビゲーションシステム*4
チャンバースコープ
オペレーションパネル
可動絞り
モーター駆動ステージ(2 軸、XYZ3 軸、XYR3 軸、5軸 駆動)
大口径ドライSDD検出器 （30mm、60mm、100mm）
三次元画像ソフトウェア(3D Sight)
テーブル(800mm 幅、800mm 幅)
加速電圧拡張キット装着時
低真空キット装着時
JSM-IT100 (A)/(LA) に標準
モーター駆動ステージ装着時
アプリケーション
JSM-IT100に関するアプリケーション
ギャラリー
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