レーザーとSEMの融合による高品質大面積加工＆測定を実現
「LazEdge」は日本電子が販売するSEMに浜松ホトニクス社製の独自のレーザー技術を融合し、電子顕微鏡試料室内でレーザー加工を可能とした装置です。高速かつ大面積加工により得られたクオリティーの高い断面試料を試料室外に開放することなく、SEMによる観察や元素分析、結晶方位解析などの各種解析にシームレスに移行できるため、金属試料解析をはじめ、大気非暴露を必要とする電池解析、高速断面加工を必要とする半導体の故障解析など、幅広いニーズに貢献します。
特長
高品質な断面加工ができるフェムト秒レーザーを搭載したSEMが誕生
Point. 1
常に高品質な断面加工を試料室内で実現
SEMにレーザー加工システムを搭載したLazEdgeは、試料室内で高速・広領域の断面加工を実現します。
空間的にレーザー光の位相変調を行うことができる独自の光学系を採用することで、LIPSS構造の少ない高品質な断面加工が行えます。
Point. 2
試料室のコンタミネーションを防止
独自のシールド技術、LazEdge Shieldにより、加工時に飛散するデブリを防止します。
検出器、鏡筒、試料室内壁を汚すことなく、クリーンに保ちます。
Point. 3
レーザー断面加工 ⇔ SEM観察をシームレスに実施
SEM試料室内で加工・観察を素早く切り替えできます。レーザー加工のみでEBSD品質の断面が得られるため、加工・測定を自動で繰り返すことで、3D EBSDの取得も可能です。
レーザーとSEMの融合により、大面積の加工・測定が素早く行えます
広領域・高速加工による金属試料の測定事例
短時間の加工で広領域をカバー。大面積加工 & EBSDマップ取得まで、約1時間で完了。 驚異的なスピードで、加工から分析までをシームレスに実現します。
試料：Moプレート 加工時間：約30分
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