特長
本装置は、走査電子顕微鏡の試料作成用のアタッチメントです。
走査電子顕微鏡で扱う試料にメタル(Au、Pt)コーティングを施して、試料のチャージアップを防止し、二次電子の発生効率を向上させることにより、観察画像の画質を改善することができます。
観察例
| 試料 | ツツジの花粉 |
|---|---|
| コーティング材料 | Au |
| コーティング時間 | 1分 |
| 加速電圧 | 10kV |
倍率×320
倍率×1,000
仕様・オプション
| スパッタ方式 | 2極水平電極放電方式 マグネトロンスパッタリング方式 |
|---|---|
| 使用真空度 | ～4Pa |
| 試料室サイズ | 86mmφ(内径)×100mm(D) |
| 試料室カバー | 硬質ガラス製 |
| ターゲットサイズ | 49.5mmφ×0.1mm(厚) (Au, 1枚付属) ターゲット電極 20mmφ |
| 試料台サイズ | 70mmφ |
| 試料台高さ | ターゲットに対して、距離を10～50mmまで連続可変可能 |
| コーティング時間 | 0.5min. / 1min. / 2min.(選択) |
| 真空ポンプ排気速度 | 30L/min. |
設置条件
| 電源 | 単相 AC100V、50/60Hz、500VA (ロータリーポンプを含む) |
|
|---|---|---|
| 接地 | D種 | |
| 室温 | 15～30°C | |
| 湿度 | 70%以下 | |
| 寸法・重量 | 試料コータ本体 | 203mm(W)×270mm(D)×325mm(H)・6.0kg |
| ロータリーポンプ | 120mm(W)×289mm(D)×163mm(H)・9.3kg | |
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