カーボンコーターは、走査電子顕微鏡などの元素分析用の試料に、カーボン蒸着を行う試料作製装置です。
特長
蒸着源には高純度の専用カーボン棒を使用しており、不純物の少ない膜が仕上がります。
カーボン棒をクリップ状の電極に簡単にセットすることができます。
試料台の高さを調整することで膜厚を調整できます。
仕様・オプション
| 使用圧力 | 20 Pa以下 |
|---|---|
| 排気速度 | 3 Paまで10分以内（試料が無い場合） |
| カーボン電極 | 1組 |
| 蒸着源 | 専用カーボン棒（直径 1mm） |
| 試料台 | 直径 64 mm |
| 蒸着源－試料台距離 | 135～165 mm |
| ベント時間 | 30秒 |
| 排気系 | 直結型ロータリーポンプ 135 L/min 過温度保護機能組込み |
| サービスコンセント | 1個 AC100V 1A (試料回転傾斜装置用） |
設置形態
| 本体 | 卓上設置型 |
|---|---|
| ロータリーポンプ | 床置型 |
寸法、質量
| 本体 | W350 mm×D420 mm×H440 mm 約18 kg |
|---|---|
| ロータリーポンプ | W170 mm×D487.5 mm×H249.5 mm 約27 kg |
設置条件
| 電源 | 単相 AC 100 V、50/60 Hz、1.4 kVA |
|---|---|
| 接地 | D種接地（100 Ω以下） |
| 室温 | 20±5 ℃ |
| 湿度 | 60 ％以下 |
| 保護等級 | IP30 |
オプション
試料回転傾斜装置（EC-30030RTS）
試料の凸凹による回り込み不足を改善することができます。
| 回転速度 | 50±10 rpm（モーター駆動） |
|---|---|
| 傾斜角度 | 水平～90° （手動） |
| 試料ホルダ | 直径12.5 mm、4個用/直径32 mm、1個用 |
| 電源 | AC 100 V、50/60 Hz、30 VA |
| 適用機種 | EC-32010CC カーボンコーター |
| 構成 | 本体 1台、ガラスシリンダー 1個、付属品1式 |
アプリケーション
EC-32010CCに関するアプリケーション
more info
