走査電子顕微鏡の試料作製装置として、生物などの非導電性試料への各種金属コーティングを短時間に効率的に行えるイオンスパッター装置です。
特長
アルゴンガスパージ機能を利用することで、効率の良いスパッタリングができます。
陰極に永久磁石を内蔵させ、効率の良いグロー放電によるスパッタリングを行うことができます。
操作が簡単で、かつ短時間で粒状性に優れたコーティングが行えます。
仕様・オプション
| スパッタリング方式 | マグネトロン形 | |
|---|---|---|
| 使用圧力 | 20Pa以下 | |
| スパッタリング電流 | 10、20、30、40 mA | |
| ターゲット | 白金（Pt）標準 Au、Au-Pd、Pt-Pdオプション | |
| 試料台 | 直径64 mm | |
| 真空チャンバー | 外径120 mm×高さ100 mm、ガラス製 | |
| 真空モニター | ピラニ真空計（タイマー表示と兼用） | |
| タイマー | デジタル表示（1～300秒） | |
| ガスコントロール | 組込み | |
| アルゴンガスパージ機能 | 組込み | |
| 高圧安全回路 | 組込み | |
| 排気系 | 直結形ロータリーポンプ 100L/min（過温度保護機能組込み） | |
| 所要電源 | 単相100V、50/60Hz、800VA | |
| 寸法・質量 | 本体 | 300（W）×380（D）×290（H）mm、11kg |
| ロータリーポンプ | 225（W）×525（D）×320（H）mm、23kg | |
| 設置室条件 | 25±5℃ | |
オプション
試料回転傾斜装置（EC-30020RTS）
試料の凹凸による回り込み不足を改善することができます
| 回転速度 | 50±10rpm（モーター駆動） |
|---|---|
| 傾斜角度 | 水平～90°（手動） |
| 試料ホルダー | 12.5mmφ、4個用/32mmφ、1個用 |
| 電源 | AC100V、50/60Hz、30VA |
| 適用機種 | JEC-3000FC オートファインコーター |
| 構成 | 本体 1台、ガラスシリンダー 1個、付属品 1式 |
外観・仕様は改良のため予告なく変更することがあります。
more info
