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JEC-560 オートカーボンコータ

販売終了

JEC-560 オートカーボンコータ

本装置は、主に走査電子顕微鏡・電子プローブマイクロアナライザなどでの元素分析用カーボンコーティングを行う試料作製装置です。
非導伝性試料等へのカーボンコーティングを、短時間に能率良く行うために使用されます。

仕様・オプション

蒸着方式 抵抗過熱式
使用圧力 20Pa以下
カーボン電極 1組
使用カーボン棒 φ5.0mm 専用
蒸着電源 0~5.5V、最大100A
試料台 直径64mm
真空チャンバ 外径120mm×高さ120mm、ガラス製
過電流保護回路 組込
排気系 直結形ロータリーポンプ 30L/min
(過温度保護機能組込)
所要電源 単相、AC100V、50/60Hz、800VA
寸法・質量 本体 350(W)×350(D)×282(H)mm、12kg
ロータリーポンプ 280(W)×120(D)×215(H)mm、10kg
設置条件 25℃±5℃

構成

本体 1式
ロータリーポンプ 1式
付属品 1式

オプション

○試料回転傾斜装置(FC-RTS)

試料ステージ回転数 約30rpm(モータ駆動)
試料ステージ傾斜角度 水平~70°
付属品 1式
試料ホルダ 10mmφ  4個
12.5mmφ 4個
32mmφ  1個
電源 AC100V、50/60Hz、10VA
適用機種 オートファインコータ JEC-560
構成 本体 1台、ACアダプタ 1個
 

○ステップダウントランス
AC100V、2kVA

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