本装置は、主に走査電子顕微鏡・電子プローブマイクロアナライザなどでの元素分析用カーボンコーティングを行う試料作製装置です。
非導伝性試料等へのカーボンコーティングを、短時間に能率良く行うために使用されます。
仕様・オプション
| 蒸着方式 | 抵抗過熱式 |
|---|---|
| 使用圧力 | 20Pa以下 |
| カーボン電極 | 1組 |
| 使用カーボン棒 | φ5.0mm 専用 |
| 蒸着電源 | 0～5.5V、最大100A |
| 試料台 | 直径64mm |
| 真空チャンバ | 外径120mm×高さ120mm、ガラス製 |
| 過電流保護回路 | 組込 |
| 排気系 | 直結形ロータリーポンプ 30L/min
（過温度保護機能組込） |
| 所要電源 | 単相、AC100V、50/60Hz、800VA |
| 寸法・質量 | 本体 350(W)×350(D)×282(H)mm、12kg
ロータリーポンプ 280(W)×120(D)×215(H)mm、10kg |
| 設置条件 | 25℃±5℃ |
構成
| 本体 | 1式 |
|---|---|
| ロータリーポンプ | 1式 |
| 付属品 | 1式 |
オプション
○試料回転傾斜装置（FC-RTS）
| 試料ステージ回転数 | 約30rpm(モータ駆動) |
|---|---|
| 試料ステージ傾斜角度 | 水平～70° |
| 付属品 | 1式 |
| 試料ホルダ | 10mmφ 4個
12.5mmφ 4個 32mmφ 1個 |
| 電源 | AC100V、50/60Hz、10VA |
| 適用機種 | オートファインコータ JEC-560 |
| 構成 | 本体 1台、ACアダプタ 1個 |
○ステップダウントランス
AC100V、2kVA
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