JEE-420形真空蒸着装置は、蒸着部、自動排気系、電気系などから構成され、電子顕微鏡などの試料作製が容易に行えるように設計されています。 JEE-420Ｔ形真空蒸着装置は、冷却水不用のターボ分子ポンプで構成された排気系による、オイルフリーの極めてクリーンな真空の実現と排気系の自動化によるイージーオペレーションの実現を設計思想におき、ユーザーの立場に立って開発された装置です。
分析電子顕微鏡および走査電子顕微鏡などでの分析・高分解能観察に適したカーボン膜、各種金属蒸着膜の作製、シャドーイング、あるいは非導伝性材に導電性を与えるための コーティング処理などのほか、電子顕微鏡用絞り箔のクリーニングなど高真空を必要とする各種の熱処理、または実験用にも使用できます。
特長
“イージーオペレーション”を実現させるために『装置の始動および停止』、『予備排気』から『本引き』までの排気操作を自動化しました。
操作盤から全ての排気バルブ操作つまみを取り除きましたので、従来のような煩わしい手動操作が不要になり、ミスオペレーションの心配は無くなりました。
ベルジャは内径約240ｍｍ、高さ270ｍｍあり、大形試料への蒸着が可能です。
到達圧力は3ｘ10-4Pa以下で、ぺニング真空計で圧力を正確に測定できます。
ペルジャ内には2組の電極がもうけてありますので、同一試料上に2種類の金属あるいはカーボンと金属を蒸着することができます。
安全保護機能付きですので、断水などによる油拡散ポンプ焼損のおそれはありません。
JEE-420Ｔはクリーンな真空を実現させるために、ターボ分子ポンプを採用し、液体窒素トラップ（オプション）の併用で高速排気も可能にしました。
仕様・オプション
| JEE-420 | JEE-420T | |
| 到達圧力 | 3×10-4Pa以下 | 1×10-4Pa以下 |
| 真空系操作 | 自動 | |
| 圧力測定 | ペニング真空計およびピラニ真空計 | |
| 圧力表示 | ペニング真空計メーター（レンジ自動切替） | |
| ベルジャ | 高さ250mm×外径250mm ガラス製 | |
| 蒸着用電極 | 2極 | |
| ヒーター用電源 | AC10V、50A | |
| カーボンホルダー | 1組 | |
| ヒーターホルダー | 2組 | |
| 予備ポート | 1個 | |
| 電極用半固定シャッター | 1個 | |
| 試料用シャッター | 1個 | |
| 油拡散ポンプ | 420L/s 水冷バッフル付 | 230L/s 空冷 |
| 油回転ポンプ | 100L/min | |
設置条件
| JEE-420 | JEE-420T | |
| 所用電源 | 単相AC100V、50/60Hz、2ｋVA | 単相AC100V、50/60Hz、1ｋVA |
| 冷却水 | - | |
| 給水口 | Rc3/8 | - |
| 排水口 | 内径 250mm以上（自然排水） | - |
| 流量 | 2L/min 以上 | - |
| 水圧 | 0.08～0.25MPa | - |
| 水温 | 20℃±5℃ | - |
| 寸法 | 幅750mm×奥行460mm×高さ1220mm | |
| 質量 | 約170kg | 約150kg |
| 使用条件 | 室温15℃～30℃ | |
| 安全機構 | 断水・漏水・漏電・DPヒーター断線・ピラニ管線組込み | 漏電・TMP異常・ピラニ管断線・真空異常検出回路組込み |
オプション
試料回転傾斜装置（EE-402）
液体窒素トラップ（EE-LNT2）
ステップダウントランス（SDT-20 外置）
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