本装置は本体部およびロータリーポンプ部から構成され、主に走査電子顕微鏡の試料作製機器として、生物などの非導電性試料への各種金属コーティングを短時間で能率的に行う為に使用します。
特長
アルゴンガスバージ機能を内蔵していますので、効率の良いスパッタリングができます。
陰極に永久磁石を内蔵していますので、効率の良いグロー放電によってスパッタリングを行う事ができます。
スパッタリング電流の設定とチャンバ内圧力の設定ができるので、コーティング粒子の回り込みをコントロールでき、陰のないコーティングが行えます。
操作が簡単で、かつ短時間で粒状性に優れたコーティングが行えます。
オプションの試料回転傾斜装置を使用することにより、回り込み不足によるチャージアップの問題を改善する事が出来ます。
ターゲット：金（Au），金-バラジウム（Au-Pd）
仕様・オプション
| スパッタリング方式 | マグネトロン形 |
|---|---|
| 使用圧力 | ～10-1Pa |
| スパッタリング電流 | 10、20、30、40mA |
| ターゲット | 白金（Pt）標準 |
| 試料台 | 64mm 径 |
| 試料台位置 | 可変（30～40mm） |
| 真空チャンバ | 120mm×100mm高、ガラス製 |
| 真空モニタ | ピラニ真空計
（スパッタリング電流表示と兼用） |
| タイマ | デジタル表示（1～300 秒） |
| ガス導入バルブ | 組込み |
| アルゴンガスバージ機能 | 組込み |
| 高圧安全回路 | 組込み |
| 排気系 | 直結形ロータリポンプ 30L/min |
| 所用電源 | 単相 100V、50/60Hz、300VA |
| 本体寸法 ・ 重量 | 350(W)×340(D)×282(H)mm、12kg |
| ロータリポンプ寸法 ・ 重量 | 280(W)×120(D)×215(H)mm、10kg |
| 室温 | 20℃±5℃ |
more info
