こちらの製品は販売終了しております。
お客様のご希望製品の最新情報や代替品についての詳細をお知りになりたい場合、以下のリンクよりご確認いただけます。引き続き、当社の製品をご愛用いただけますようお願い申し上げます。
JEM-2800は優れたユーザビリティーを有しつつ、
高分解能観察と高速分析を両立したTEM/STEM装置です。
特長
SEMをはじめとする試料に適した多様な観察モードの実現
新設計の光学系により高分解能観察とハイスループット分析を両立させました。JEM-2800は透過像(TEM)、走査透過像(STEM)、二次電子像、電子回折の観察モードの切り替えが瞬時にでき、明るい部屋での像観察を実現しました。また、走査像モードではSTEM-BF像、STEM-DF像、二次電子像の同時観察が可能です。これらの機能により、オペレーターは目的に応じて、試料の広範囲の構造からサブナノメートルの格子像まで希望の観察モードで容易に全ての像を取得できます。
自動機能とユーザーナビゲーションに効率の良い操作環境
電子顕微鏡の観察に必要な操作の自動機能(コントラスト&ブライトネス、試料高さ(Z)調整、結晶方位合わせ、フォーカス、非点収差補正)を積極的に採用しました。これらの機能により、オペレーターの習熟度に依存しない再現性のある結果の取得を可能としました。
また、ターボ分子ポンプの標準装備により試料交換の時間を短縮し、試料ホルダ挿入後、約30秒で観察を開始できます。
さらに、初心者でも安心して確実に操作することができるように、データ取得に必要な操作ガイドと動画が組み込まれたオペレーターアシストシステムJEM-Navi™を標準搭載しています。
大面積100mm²SDDによる高速分析(Dual SDD対応)
ハイスループット観察のみならず、ハイスループット元素分析も可能です。日本電子製の大面積100mm² シリコンドリフト検出器(Silicon Drift Detector:SDD)※1を搭載することにより、電子顕微鏡の性能を損なうことなく大きな立体角が得られ、従来のスピードをはるかに上回る高効率なX線分析が可能となりました。また、JEM-2800では短時間で確実な分析結果を得るために、試料や分析法に応じた最適な電子プローブ径を選択することができます。
※1 オプション
データの統合管理と報告書作成支援
多くのユーザーのニーズに応えて、迅速な解析結果の報告ができるようデータ管理のトータルシステムを用意しています。JEM-2800で取得した画像及び分析データはLAN経由でデータ統合管理ソフト(Image Center※2)へ自動的に送られます。さらにClient PC からアクセスして測長(Image Excite※2)や粒子解析(Region Gauge Center※2)を効率よく実行することができ、データ整理ソフト(Image Import※2)により報告書を容易に作成することができます。
※2 株式会社システムインフロンティア製
仕様・オプション
分解能 | |
---|---|
二次電子像(edge to edge) | ≦0.5nm(加速電圧200kV) |
走査透過像 | 0.16nm(加速電圧200kV) |
透過像(格子像) | 0.1nm(加速電圧200kV) |
倍率(24インチワイドLCD上) | |
二次電子像 | X100~X150,000,000 |
走査透過像 | X100~X150,000,000 |
透過像 | X500~X20,000,000 |
電子銃 | |
電子銃 | ショットキー電界放出形電子銃 |
加速電圧 | 200kV、100kV |
試料系 | |
ステージ | ユーセントリックサイドエントリーゴニオメーターステージ |
試料サイズ | 3mmΦ |
最大傾斜角 | X軸:±20° Y軸:±25°(2軸傾斜ホルダ使用時) |
移動範囲 | X,Y:±1mm Z:±0.2mm(モータ駆動) *ピエゾ駆動対応(X,Y) |
オプション | |
主な装着可能オプション | エネルギー分散形X線分析装置(EDS) 電子線エネルギー損失分光器(EELS) デジタルCCDカメラシステム TEM/STEMトモグラフィーシステム |
アプリケーション
JEM-2800に関するアプリケーション
Development of JEM-2800 High Throughput Electron Microscope
ギャラリー
