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超音波カッターシステム
Model601 (GATAN社製)

超音波カッターシステム Model601 (GATAN社製)

電子顕微鏡の試料作製用に使いやすくデザインされた試料(3mmφ)打ち抜き装置です。
小さな試料のカッティングに有効で、50μmの薄さのウエハーからディスクを切るのに最適です。
また、バルク試料から長さ5mmの円筒状に切り出します。

特長

セラミックスまたは、半導体物質のウエハーから完璧なTEM用ディスクが作られます。

バルク試料なら長さ5mmまでの円筒を切り出すことができます。
正確な試料の位置決めに有効な光学顕微鏡およびX-Y位置決めテーブルがあります。
小孔、溝、くぼみ、その他の特別な形状をきることができます。

  • X-Yステージ付

仕様・オプション

超音波周波数 19kHz~42kHz
トランジューサー ジルコンサン鉛/チタン酸鉛の圧電性結晶
打ち抜き径 φ3mm
打ち抜き厚さ 50μm~5mm
厚さ測定 マイクロダイヤルゲージ
試料位置決め 60倍光学顕微鏡及びX-Yテーブル
電源 AC100V 50/60Hz
寸法 195mm(幅)×235mm(奥行)×395mm(高さ)

構成

超音波ディスクカッター 1式
光学顕微鏡及びX-Y位置決めテーブル 1式
φ3mmカッティングツール 1個

オプション

  • Model 601-0601:六角テーブル

  • Model 601-05220:XYステージ

  • その他、各種サイズのカッティングツールも準備されています。

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