電子顕微鏡の試料作製用に使いやすくデザインされた試料(3mmφ)打ち抜き装置です。
小さな試料のカッティングに有効で、50μmの薄さのウエハーからディスクを切るのに最適です。
また、バルク試料から長さ5mmの円筒状に切り出します。
特長
セラミックスまたは、半導体物質のウエハーから完璧なTEM用ディスクが作られます。
バルク試料なら長さ5mmまでの円筒を切り出すことができます。
正確な試料の位置決めに有効な光学顕微鏡およびX-Y位置決めテーブルがあります。
小孔、溝、くぼみ、その他の特別な形状をきることができます。
X-Yステージ付
仕様・オプション
超音波周波数 | 19kHz~42kHz |
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トランジューサー | ジルコンサン鉛/チタン酸鉛の圧電性結晶 |
打ち抜き径 | φ3mm |
打ち抜き厚さ | 50μm~5mm |
厚さ測定 | マイクロダイヤルゲージ |
試料位置決め | 60倍光学顕微鏡及びX-Yテーブル |
電源 | AC100V 50/60Hz |
寸法 | 195mm(幅)×235mm(奥行)×395mm(高さ) |
構成
超音波ディスクカッター | 1式 |
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光学顕微鏡及びX-Y位置決めテーブル | 1式 |
φ3mmカッティングツール | 1個 |
オプション
Model 601-0601:六角テーブル
Model 601-05220:XYステージ
その他、各種サイズのカッティングツールも準備されています。