スタンダードモデルとして愛用されたPIPS™の基本性能及び操作性を画期的に向上させた新タイプの装置です。
日常的な材料から、最先端材料まであらゆる状況で最高の試料作製を可能にし、操作はタッチパネルによるGUI方式を採用し、レシピ機能等も搭載され驚くほど迅速・容易に行えます。
特長
10インチのタッチパネル式 『GUI』 ※
シンプルで使いやすいインターフェース
ベーシックユーザからハイレベルユーザまで満足
レシピ設定機能付き
最適レベルのパラメータの測定・モニタリング・設定結果を表示
補正及びビームアライメントをアシスト
性能のモニタリング及び保守の為のマシン・ログを作成
GUI=グラフィックユーザーインターフェース
改良されたガンの性能
低エネルギー性能が画期的に向上
高エネルギー性能エンベロープ拡大
高精度な試料作製による良好なTEMデータ取得が可能
新しいX、Yステージ
試料上の重要点を、回転・イオンビームの中心に設定できる
PIPS™IIカメラと関連付けた、非常に簡単なアライメント調整
冷却ステージ
大容量デュアを採用し長時間の冷却加工が可能
-120℃まで冷却可能
DigitalMicrograph® デジタルズームカメラ
5メガピクセルデジタルカメラ
LED照明(2色)
DM取得、PCとPIPS™IIのリンク
完全プログラム化可能-GUIまたはPCから-
DigitalMicrograph® に保存された画像(1画像 / 回転画像)
仕様・オプション
イオン源 | |
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イオン銃 | 低エネルギー集束電極 ペニング形イオン銃2式 |
ミリングアングル | -10°~+10° 調整可能 |
イオンエネルギー | 100 eV ~8 keV |
イオン電流密度 | 1イオン銃あたり 10 mA/cm2 |
ビーム軸合わせ | 蛍光板を用いた精密なビームアライメント |
ビーム調整 | ガス流量か放電電圧にて調整 |
試料室 | |
試料サイズ | 3 mm |
試料回転 | 1~6 rpm まで可変 |
試料取り付け | 片面ポリシング用試料台/両面ポリシング用試料台 |
X,Y可動範囲 | ±0.5 mm |
試料観察 | 双眼顕微鏡、デジタルズームマイクロスコープ(オプション) |
真空系 | |
ドライポンプシステム | 2ステージダイヤフラムポンプ (背圧) 80 L/秒 |
到達圧力 | 到達圧力6.6×10-4Pa、動作圧力1×10-3Pa |
真空計 | 試料室:冷陰極タイプ |
試料交換 | Whisperlok® エアロック方式 (所要試料交換時間:1分以下) |
外観など | |
寸法/重量 | 495 mm (W) × 547 mm (D) × 615 mm (H) 45kg |
電源 /使用電力 | 単相AC 100 V、50/60 Hz、200 W |
ガス | アルゴンガス:G1 (99.9999%) 推奨 設定圧力:0.15 MPa |
液体窒素冷却ステージの仕様
冷却源 | 液体窒素 |
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デュアーの容量 | 336mL |
デュアーの保持時間 | 約6~7時間 |
コントローラ | 設定温度をGUI操作・表示 |
ヒーター1 | ステージの温度調整用 (-120°C~+25°C) |
ヒーター2 | 冷却したステージを室温戻し用 |
温度検出 | シリコンダイオード |
温度領域 | -120°C~室温 |
試料冷却 | -120°Cまで可能 |
「DigitalMicrograph®」「Whisperlok®」は(米)Gatan社の製品です。