特長
JEC-4000DSは、透過電子顕微鏡(TEM)の試料ホルダを、真空中に保持するホルダステーションです。
真空排気系は、冷却水不要のターボ分子ポンプ(TMP)を用いてドライな環境を実現し、試料ホルダを常にクリーンな状態に保つことができます。
大気等からのガスの吸着を防ぐことができます
試料ホルダの着脱や取り扱いは、誤操作のない簡単操作
試料ホルダの焼だし機構付き
試料ホルダに試料をつけたまま真空中に保存可能。
大きなのぞき窓により、ホルダ先端を観察・確認できます。
仕様・オプション
| 到達圧力 | 5×10-4 Pa |
|---|---|
| 主排気ポンプ | ターボ分子ポンプ 約 55 L/sec (N2) |
| 補助排気ポンプ | ロータリポンプ 約 40 L/min |
| ベイキング機能 | 組込み |
| ホルダ装着数 | 3本 |
| 適用試料ホルダ | EM-21010 (SCSH)
および同形状の試料ホルダ |
| 電源 | 単相 AC 100-120V、50/60Hz、 0.7kVA |
| 寸法、質量 | 本体：幅 420×奥行 330×高さ 380（mm）、 約20kg
ロータリポンプ：幅 150×奥行 430×高さ 230（mm）、 約 16kg |
| 室温 | 20±5 ℃ |
| 湿度 | 60 ％以下 |
| 使用ガス | 窒素ガス（チャンバのベントに使用する場合） |
| 導入ガス圧力 | 0.01～0.02 MPa (1.0～2.0 kg/cm2) |
| 適用チューブ | 外径 4 mm |
窒素ガス，ガスボンベおよびレギュレータはお客さまにてご準備ください。
構成
試料ホルダ予備排気装置基本体 [EC-40000BU] 1式
| ①本体 | 1 式 |
|---|---|
| ②ロータリポンプ | 1式（オイルミストトラップ含む） |
| ③金属排気管 | 1 式 |
| ④附属品 | 1 式 |
本仕様は改良等のため、予告なく変更することがあります。
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