JIC-410イオンクリーナは透過電子顕微鏡の試料をグロー放電中に保持し、物理・化学反応を利用して試料上に付着した炭化水素系汚染物を除去する装置です。電子顕微鏡内で電子線を試料に照射した際の、炭化水素系汚染物の収束による試料汚染（コンタミネーション）を発生させないようにします。
特長
試料をホルダに装着したまま処理できます
電源を入れると自動的に真空排気、クリーニングを行います
真空ポンプを内蔵した、コンパクトなデザインです
特殊なガス導入なしでクリーニングを行う事が出来ます
仕様・オプション
| 放電方式 | 水平電極型 |
|---|---|
| 使用圧力 | 1～102 Pa以下 |
| ターゲット | カーボン |
| 真空チャンバ | 外径118mm×高さ37mm |
| 放電電圧 | 可変 |
| タイマ | 1～10min |
| 真空系RP | 10L/min |
設置条件
| 所要電源 | AC100V、50/60Hz、200VA |
|---|---|
| 装置寸法 | 幅210mm×奥行き380mm×高さ315mm |
| 質量 | 約15kg |
| 使用条件 | 25℃±5℃ |
| 適用機種 | JEM-1220、2010、2010F、3010、3000F、4010等で使用する試料ホルダ |
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