ハイスループット デプスプロファイル
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高速エッチング銃やツインアノード・モノクロメータを備えた多機能かつ低価格を実現したバランスの良い光電子分光装置です。
特長
「カウフマン型イオン銃」
10mmφの大きさを最大120nm/minのレートでエッチングできる高速イオン銃です。イオンミリングを凌駕するその性能は、表面清浄からデプスプロファイルまで、その使用目的は多岐に渡ります。
「パンフォーカス・インプットレンズ・システム
分析装置に特有な・・・試料位置合わせや電子光学系の調整などの煩雑・複雑な作業を必要としない高操作性のシステムを実現しました。
「表面分析用データ解析ソフトウエア」
従来の波形分離方法はもちろんのこと、XPSとAESの標準スペクトルライブラリを利用した実スペクトルを用いた波形分離アルゴリズムを新たに組み込みました。これにより、オペレーターは経験を必要とする複雑なパラメータの設定作業から解放され、初心者でも複雑な化学結合状態解析が可能となりました。
仕様・オプション
| 感度および分解能 | |
|---|---|
| 標準X線源の場合 清浄で平滑な銀試料の3d5/2光電子スペクトルをMgkα 励起した場合（300W換算） |
|
| 強度（cps） | 分解能（eV） |
| 540,000 | 0.90 |
| 1,800,000 | 1.15 |
| 5,000,000 | 1.8 |
| 単色化X線源の場合 清浄で平滑な銀試料の3d5/2光電子スペクトルをAlkα 励起した場合（600W換算） |
|
| 強度（cps） | 65,000 |
| 分解能（eV） | 0.65 |
| X線源 | |
| 標準X線源 （Al-Mg ツインターゲット） | |
| 最大耐負荷 | Mg 500W Al 600W |
| 単色化X線源 （X線モノクロメータ） | |
| 電源安定度 | 1%以内 |
| 最大耐負荷 | Al 600W |
| エネルギーアナライザおよび入射レンズ系 | |
| 入射レンズ | 3段円筒形静電レンズ |
| エネルギー掃引方式 | Constant Analyzer Energy法 |
| 真空排気系 | |
| 試料観測 | |
| 室到達圧力 | 7×10-8Pa 以下 |
| 排気系 | 自動排気ベークアウトシーケンス組み込み |
| 主ポンプ | 200L/sイオンポンプ |
| 補助ポンプ | 1600L/s サブリメーションポンプ |
| 真空モニタ | ヌードイオンゲージ |
| ベークアウト機構 | 内部ヒータ組み込み |
| 試料交換室 | |
| 高速イオン銃 | 組み込み |
| 排気系 | 自動排気シーケンス組み込み |
| 主ポンプ | 260L/s ターボ分子ポンプ |
| 真空モニタ | ペニングゲージ |
アプリケーション
JPS-9010seriesに関するアプリケーション
MALDI Application: SpiralTOF™を用いたレーザー脱離イオン化法による有機薄膜分析
JPS-9010シリーズ JPS-9200のオプションについて 技術情報
XPS による環境分析例：WEEE/RoHS に対応する 6 価クロムの分析
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