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30µmφから3mmφまで、広い分析レンジをもつ汎用分析を目的とした高感度の光電子分光装置です。
特長
マイクロイオン銃
日本電子独自の電子光学技術を適用した高精度のイオンエッチング銃です。エッチングした領域が狭いため、同一試料での繰り返し測定が可能です。
ハイブリッド・インプットレンズ・システム
X線をフォーカスするのではなく、検出領域を任意に可変できるため、試料ダメージを気にすることなく、微小領域から高領域までの汎用分析が可能となりました。
表面分析用データ解析ソフトウエア
従来の波形分離方法はもちろんのこと、XPSとAESの標準スペクトルライブラリを利用した実スペクトルを用いた波形分離アルゴリズムを新たに組み込みました。これにより、オペレーターは経験を必要とする複雑なパラメータの設定作業から解放され、初心者でも複雑な化学結合状態解析が可能となりました。
仕様・オプション
スペクトルの分解能と強度 | ||
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標準X線源 Ag3d5/2光電子ピーク、MgKα線で励起(300 W換算) 分析径は、ナイフエッジをライン走査して16 %と84 %の強度を示す距離 |
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分析径 | 0.9 eV | 1.15 eV |
マクロ | 900,000 cps以上 | 1,800,000 cps以上 |
1mmφ | 480,000 cps以上 | 900,000 cps以上 |
0.2mmφ | 50,000 cps以上 | 100,000 cps以上 |
0.03mmφ | 1,500 cps以上 | 3,000 cps以上 |
標準Ⅹ線源(Al-Mgツインターゲット) 最大負荷 Mg 500W, Al 600W 単色化X線源 Ag3d5/2光電子スペクトル、モノクロAlKα線で励起(600 W換算) |
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強度(cps) | 100,000 cps 以上 | |
分解能(eV) | 0.65 eV | |
入射レンズ | 視野制限及び角度制限絞り組込 磁界・電界形インプットレンズ | |
検出器 | マルチチャンネルディテクタ | |
エネルギー掃引 | 0~1480 eV | |
CAE法 | パスエネルギー 5~200 eV | |
CRR法 | ΔE/E 0.15~0.5 % | |
標準試料形状 | 10 mm × 10 mm、厚さ2 mm以内 最大6個まで同時に装着可能 分析位置は20点まで設定可能 |
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大型試料の場合 | 最大90 mmφ、厚さ1.5 mm以内 | |
試料移動範囲 | X:0~50 mm、Y:0~18 mm、Z:-2~2 mm、T:-10~10° | |
排気系 | 自動排気ベークアウトシーケンス組み込み | |
主ポンプ | 200L/sイオンポンプ | |
補助ポンプ | 1600L/s サブリメーションポンプ | |
真空モニタ | ヌードイオンゲージ | |
ベークアウト機構 | 内部ヒータ組み込み | |
分析室真空到達度 | 7×10-8 Pa |
アプリケーション
JPS-9200に関するアプリケーション
JPS-9010シリーズ JPS-9200のオプションについて 技術情報
JPS-9200応用データ紹介(3):高エネルギー分解能測定例
JPS-9200応用データ紹介(2):マイクロ分析測定例 2