～45nm ノードマスク ・ レチクル制作用可変成形電子ビーム描画装置です。
先端技術で高速、高精度、高信頼性を実現しています。
加速電圧50 kVの可変成形ビームとステップ＆リピートステージ方式を基本とした描画装置です｡
特長
ステップ & リピート描画方式のメリットを生かし、描画ドーズ量変調機能、重ね描画機能等を組み合わせることにより、レガシーマスク/レチクルのパターニングに求められる多種多様な補正に対応することができます。
導入実績
国内外のキャプティブマスクショップとマーチャントマスクショップ。
仕様・オプション
| つなぎ精度 | ≦±3.8nm |
|---|---|
| 重ね合わせ精度 | ≦±7nm |
