仕様・オプション
| 分解能 | 5nm（1kV時） |
|---|---|
| 加速電圧 | 500V～15kV |
| 観察倍率 | ×100～×200,000 |
| ステージ | X-Y：200mm、T：60°、R：360° |
| 試料サイズ | 200mm以下 |
| ADR（die to die） | 900dph（JEOL標準サンプル） |
| 分解能 | 5nm（1kV時） |
|---|---|
| 加速電圧 | 500V～15kV |
| 観察倍率 | ×100～×200,000 |
| ステージ | X-Y：200mm、T：60°、R：360° |
| 試料サイズ | 200mm以下 |
| ADR（die to die） | 900dph（JEOL標準サンプル） |
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