こちらの製品は販売終了しております。
お客様のご希望製品の最新情報や代替品についての詳細をお知りになりたい場合、以下のリンクよりご確認いただけます。引き続き、当社の製品をご愛用いただけますようお願い申し上げます。
仕様・オプション
分解能 | 5nm(1kV時) |
---|---|
加速電圧 | 500V~15kV |
観察倍率 | ×100~×200,000 |
ステージ | X-Y:200mm、T:60°、R:360° |
試料サイズ | 200mm以下 |
ADR(die to die) | 900dph(JEOL標準サンプル) |