ターゲット（成膜材料）
スパッター装置に使用する成膜材料
金（Au）や白金（Pt）などの金属を試料表面に薄くコーティングし、帯電を防止するとともに高品質な電子顕微鏡観察を可能にします。
写真は左が金ターゲット、右が白金ターゲットです。なお、写真はイメージです。
機種別ターゲット一覧表
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| 使用機種 | JFC-1600 オートファインコーター JEC-3000FC オートファインコーター |
NeoCoater (品番：MP-19010/20NCTR) SmartCoater (品番：DII-29010/30CTR) |
|---|---|---|
| 直径 厚さ 形状 |
57.0mmφ 0.1mmT 平らな板 |
49.5mmφ 0.1mmT 平らな板で49mmφと互換性有り |
| Au(金) | パーツNo. 780174712 | パーツNo. 780110871 |
| Pt(白金) | パーツNo. 780174721 | パーツNo. 780110463 |
| Pd(パラジウム) | パーツNo. 780358562 | — |
| Au － Pd 80% -20% |
パーツNo. 780174704 | パーツNo. 780137141 |
| Pt － Pd 80% -20% |
パーツNo. 780175808 | パーツNo. 780118201 |
| ターゲットホルダ | パーツNo. 781170141
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