Web動画 (対象装置の保守契約のお客様向け)
更新日：2023/2/24
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SEM
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非点調整
走査電子顕微鏡で観察を行う際、フォーカス調整のみではシャープな像が得られないことがあります。
その場合「非点」の調整をすることが必要です。
この動画では非点がある場合の像の見え方と、自動および手動での調整方法をお伝えします。約4分
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信号① (二次電子検出器)
走査電子顕微鏡の観察において信号の選択はとても大切な項目です。
信号の選択によっては間違った解釈を得てしまう場合もございます。
この動画では信号の中でも「SED」と「REF」についてご説明いたします。約6分
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信号② (反射電子検出器)
走査電子顕微鏡の観察において信号の選択はとても大切な項目です。
信号の選択によっては間違った解釈を得てしまう場合もございます。
この動画では信号の中でも、「BED-C」「BED-T」「BED-S」についてご説明いたします。約6分
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軸合わせ① (フィラメント加熱とガンアライメント)
走査電子顕微鏡では、「軸合わせ」を行うことで、明るくシャープな像を得ることが出来ます。
しかし軸がずれてしまうと像に様々な悪影響が生じます。
本動画では軸合わせの中でも、「フィラメント加熱」「ガンアライメント」について、軸ずれ時の影響と軸合わせ方法についてご説明いたします。約6分
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軸合わせ② (対物絞り)
走査電子顕微鏡では、「軸合わせ」を行うことで、明るくシャープな像を得ることが出来ます。
しかし軸がずれてしまうと像に様々な悪影響が生じます。
本動画では軸合わせの中でも、「対物絞り」について、軸ずれ時の影響と軸合わせ方法についてご説明いたします。約6分
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条件設定① (加速電圧)
走査電子顕微鏡では、目的に応じて条件設定を変えることが必要です。
本動画では条件設定の中でも、「加速電圧」について、数値を変えた際の影響や数値を決める基準をお伝えします。約7分
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条件設定② (照射電流)
走査電子顕微鏡では、目的に応じて条件設定を変えることが必要です。
本動画では条件設定の中でも、「照射電流」について、数値を変えた際の影響や数値を決める基準をお伝えします。
また、どのようなタイミングで数値を変えるのか、実際の観察の様子をお見せしながらご紹介します。約6分
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条件設定③ (作動距離)
走査電子顕微鏡では、目的に応じて条件設定を変えることが必要です。
本動画では条件設定の中でも、「作動距離(WD)」について、数値を変えた際の影響や数値を決める基準をお伝えします。
また、どの様なことを考えながら数値を設定するのか、実際の観察の様子を動画でお見せしつつご紹介します。約7分
EDS
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分析の準備① (WD)
EDS分析において、作動距離 (WD) は規定値で行う事が大切です。
しかし、通常のフォーカス調整では、作動距離が規定値より外れる事があります。
本動画では規定値以外で分析した場合の弊害や、規定値で分析するためのフォーカス調整 (Zフォーカス) をお伝えします。約5分
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分析の準備② (加速電圧)
EDS分析で用いるX線は、どの加速電圧でも発生するわけではありません。
十分な加速電圧を選択しないと、正しい分析結果が得られない可能性があります。
本動画では、正しい分析結果を得るための加速電圧の設定の考え方についてご説明します。約6分
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分析の準備③ (帯電)
観察時に帯電について気になる方は多いと思いますが、EDS分析時にはそのままスペクトルの取得をしていませんか？
実は分析において帯電現象は非常に大きな問題を起こします。
本動画では帯電時の分析の問題点についてご紹介いたします。約8分
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分析の準備④（CPS・分析条件）
この動画では分析の精度にもかかわる重要な設定項目であるX線のカウント数 (CPS) と分析条件について説明いたします。
約7分
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定性
本動画では、分析開始の方法から、定性の確認方法、定量結果の表示方法をご説明します。
定性は自動で行うこともできますが、正しい元素が指定されているかどうか手動で確認する必要があります。確認に使用するツールは2つありますので、動画内でご紹介致します。約10分
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MAP
約18分