反射電子(Backscattered electron)

電子ビームが固体試料表面に照射されると、入射電子の一部はエネルギーを失う前に試料表面から再び真空中に飛び出してきます。これを反射電子 (後方散乱電子、backscattered electron) と呼びます。
本資料では、反射電子の特性について分かりやすく説明します。