TFT液晶パネルコンタクトプラグの断面観察

IB2019-03

透明基板上に作製されるTFT液晶パネルのようなデバイスでは、光学顕微鏡（OM）により試料内部の構造が観察できます。
しかし、SIM像は内部構造を直接観察できません。
このような試料をFIBで加工する場合、光学顕微鏡とFIBを上手に組み合わせることで位置精度の高い試料作製が行えます。

ステージリンケージ機能^{※オプション}

JIB-4000PLUSとピックアップシステムAxisPro※のステージ座標を変換して、同一観察箇所へのスムーズな移動を可能にします。これにより、FIBで作製した薄膜試料をAxisProでピックアップする場合に、試料位置への移動が簡単に行えます。また、AxisProの光学顕微鏡で観察した位置にFIBで移動することも可能です。

ピクチャーオーバーレイソフトウェア

FIBのGUI上に光学顕微鏡像などの任意の画像をオーバーレイ表示する機能です。オーバーレイ表示した状態でFIB加⼯の位置設定が可能であり、SIM像では見えないターゲットの加⼯をサポートします。

AxisProの光学顕微鏡で断面試料を作製する位置を探した後、ステージリンケージ機能を使い、JIB-4000PLUSで同一箇所へ移動します。さらに、撮影した光学顕微鏡像をピクチャーオーバーレイにより重ね合せることで、SIM像では見えない試料内部のコンタクトプラグ部の断面を作製しました。作製した断面の観察像（SIM像）から、目的のコンタクトプラグ部で断面が作製できていることが分かります。