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温度変動対策

原子分解能電子顕微鏡などの高性能理科学機器が本来持っている性能を発揮するためには、温度変動や気流、騒音など設置室内の環境を高いレベルで安定させる必要があります。日本電子では、原子分解能電子顕微鏡に最適な温度コントロールシステムを開発し、多くのユーザー様より高い評価をいただいております。

輻射方式温度コントロールシステムの原理

システム模式図

システム模式図

水冷式輻射パネルの表面温度分布

水冷式輻射パネルの表面温度分布

装置設置室の壁面に複数設置した輻射冷却パネル内に、専用の高精度チラーからの冷却水を流し冷輻射と自然対流により装置等からの発熱を除去します。一般的な空調と比較し、温度安定度に優れるだけでなく気流と騒音発生もほぼゼロに抑え、原子分解能電子顕微鏡の設置室として理想的な環境を作り出します。

JEM-ARM シリーズの温度変動・気流仕様値

室温 15~25°C
ドリフト 0.2°C /h 以下
変動 0.05°C /min 以下
気流 100mm/s 以下

温度変動データ例

温度変動データ比較

温度変動データ比較 青:一般空調 赤:輻射方式

事例紹介

施工例

日本電子株式会社 開発館 JEM-ARM200F デモ場

日本電子 開発館 JEM-ARM200F デモ場

水冷式輻射パネル

水冷式輻射パネル
*株式会社プロトテックの製品です

設置室工事施工・コンサルティング

日本電子 先端環境技術センターでは、建築・内装・電気・空調・設備・耐震固定など、装置の要求仕様を満足するための設置室工事全般を施工しております。お客様のご要望に合わせ最適な工事仕様をご提案し、装置の性能をフルに発揮するためのソリューションをご提供いたします。写真は、電子顕微鏡設置室施工例です。

JEM-1400Plus 設置室

JEM-1400Plus 設置室

200kV TEM 設置室

200kV TEM 設置室

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