振動対策
振動対策
高性能・微細化が進む理科学機器にとって、設置場所の床振動をいかに効果的に減衰するかが装置性能を確保するために非常に重要なファクターとなります。日本電子では、床振動による性能低下を防止するための専用設計のアクティブ除振装置を幅広くラインナップしております。
アクティブ除振の原理
装置ばね上に設置したセンサーで検知した振動に対し、逆向きの力をアクチュエーターより出力しばね上の振動を打ち消します。それにより、パッシブ除振においては不可避な共振周波数での振動増幅を減衰することが可能となります。設置場所ごとに異なる振動の性質に合わせた個別のチューニングを行うことにより、アクティブ除振装置の性能を最大限に発揮し装置の性能低下を防止します。
アクティブ除振装置模式図
振動伝達率 横軸:周波数 縦軸:倍率
アクティブ除振の効果
JSM-6510 による観察例
試料：ZnO 倍率：× 50,000
アクティブOFF
床振動の影響により、観察像の輪郭にノイズが乗り不鮮明な像となっています。
アクティブON
アクティブ除振装置の振動減衰効果により、床振動の影響が抑制され鮮明な像が得られます。
製品ラインナップ
組込型アクティブ除振装置
装置の標準除振器と交換するタイプのアクティブ除振装置です。装置の外観や使い勝手に影響を与えることなく、より効果的に振動による影響を取り除きます。
JEM-ARM300F 用（TCN300XNL）
タングステンSEM 用（EST-L100C-7395）
タングステンSEM 用（EST-L5HR-6037）
平台型アクティブ除振装置
装置の下に置くタイプのアクティブ除振装置です。主にSEM用として様々な機種に適用可能です。
超高圧電子顕微鏡用
ピット型除振台
超高圧電子顕微鏡などの重心が高い装置において、低い周波数の床振動も効果的に減衰します。また、アクティブ制御と組み合わせることによりさらに高い除振性能を実現します。
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