蛍光励起効果

fluorescence excitation effect

[目次：分光分析(EELS／EDS／電子構造)]

特性X線の分光分析(EDS)において、分析の対象となる元素(目的元素)から放出される特性X線のほかに、目的元素以外の元素から放出されるX線が目的元素の特性X線よりも高いエネルギーの場合、これが励起源となって目的元素の特性X線を余分に放出する効果。試料が厚くなると(測定元素により違いがあるが、ほぼ数10nm以上)、定量測定の際、この効果が無視できなくなるので、検出したX線の強度を補正する必要がある。吸収効果よりは重要でない。

In spectroscopic analysis of characteristic X-rays (EDS), the "fluorescence excitation effect" means that X-rays emitted from non-target elements, whose energy is higher than that of the characteristic X-rays of the target element, are absorbed by the target element and characteristic X-rays of the target element are additionally emitted. Since this effect cannot be neglected in quantitative analysis when a specimen is thicker (～several 10 nm or thicker though depending on target elements), correction for the detected X-ray intensity is required. This effect is, however, smaller than the absorption effect.

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