走査電子顕微鏡 基本用語集
はじめに
走査電子顕微鏡(SEM)基本用語集は、SEMの基礎となる理論、装置、観察手法、分析手法、試料作製法に関する基本用語約550語を、これまで掲載しておりましたが、今回、抜本的な改定リニューアルを行いました。
本改定では、特に重要で基本的な用語の解説の充実を図りました。用語の理解を容易にするために説明文を推敲しただけでなく、新たに図や写真を添付しました。最近注目されてきている用語を追加し、SEMの学問的・技術的発展に対応しました。SEM以外でも使う用語については、SEMの分野に即して説明しました。さらに益々国際化が浸透している状況に鑑み、英訳版を Global Siteに新設し、重要な用語から順次、掲載を進めております。用語の改定は今後とも継続的に実施して参ります。
この用語集が、皆様のSEMの理解とその効果的な利用の一助になれば幸いです。
監修
東北大学 名誉教授 田中 通義
日本電子 技術顧問
製作
日本電子株式会社
- データなどの提供者の所属は、提供当時のものです。
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