5次の収差

5th order aberrations

ザイデルの5収差が、電子線の光軸への入射角αと光軸からの距離rについての3乗に比例する収差であるのに対して、次の次数である5次の収差のことで、シュワルツシルドの9収差という。Csコレクターの開発により、電子顕微鏡では3次の球面収差、および他の3次（軸上寄生）収差も補正されるようなった。(軸上)4次収差は、アライメントで補正される特徴があるため、（軸上寄生）5次収差が次に幾何的なボケの原因となる。5次の収差のうち、5次の球面収差C₅α⁵が問題になる。しかし、(3次の)Csコレクターと転送レンズ(トランスファーレンズ)があればC₅の値は可変にすることができ、C₅ = 0にすることができる。二段ヘキサポール型のCsコレクターでは5次収差のうち、軸上寄生収差である6回非点収差の影響が大きく、これを小さくする努力が払われている。

"Five Seidel aberrations" are proportional to the cube of α (angle between the incident electron beam and optical axis) and r (distance of the electron beam from the optical axis). "The 5th order aberrations" or so called "nine Schwarzschild aberrations" mean the aberrations of the next order to the Seidel aberrations or those proportional to the fifth power of α and r. Due to the development of Cs correctors, the third-order spherical aberration and third-order axial (parasitic) aberrations have nowadays been successfully corrected. The fourth-order axial (parasitic) aberrations can be corrected by the alignment of the optical axis. Thus, the fifth-order axial aberrations must be considered to decrease blurring of an image. If we have a Cs corrector with transfer lenses, the value of the fifth-order spherical aberration C₅α⁵ is adjustable, thus C₅α⁵ = 0 being possible. In the case of two-stage hexapole type correctors, efforts to minimize the axial (parasitic) 6-fold rotation astigmatism among the 5th order aberrations have been made.