波長分散型X線分光

wavelength-dispersive X-ray spectroscopy, WDS

試料から発生する特性X線を、分光結晶でのブラッグ反射を利用し特定波長のX線を分離検出することにより、分光分析する手法。分光結晶によりブラッグ反射した特性X線の回折角度からX線の波長を測定し、元素の種類を同定する。エネルギー分散型に比べX線の検出効率は悪いが、B(ボロン)以下の軽元素まで分析できる。検出効率が悪いために照射電流量をエネルギー分散型より多くする必要がある(数nA～数100nA)。そのために試料へのダメージに注意しなければならない場合がある。通常の分解能は10eV程度である。定量精度は0.1～0.2%である。最近、価電子帯の状態密度の解析に使える回折格子を使った1eVをきる高分解能の分光器が開発された。略称はWDSであるが、WDXともいう。定量精度は0.1～0.2%である。略称はWDSであるが、WDXともいう。

Wavelength-dispersive X-ray spectroscopy (WDS) is an element analysis method. Characteristic X-rays generated from a specimen are measured using Bragg reflections of X-rays with analyzing crystals, based on the diffraction angles of the reflected X-rays caused by the analyzing crystals. The analyzing power of light elements surpasses EDS. That is, WDS can analyze elements from boron (B) on down. However, the detection efficiency of WDS is lower than EDS. Thus, the illumination current of the electron beam for WDS needs to be set larger than that for EDS (several nA to several 100 nA). As a result, care must be taken for the beam damage to the specimen to suppress the damage. Normally, the resolution of WDS is about 10 eV. Its quantification accuracy is 0.1 to 0.2%. Recently, a high energy-resolution (exceeding 1 eV) analyzer that uses a grating has been developed. Due to its superbly high resolution, this analyzer can be used for analyzing the density of states of the valence band. "WDX" is also used as the abbreviation of wavelength-dispersive X-ray spectroscopy.