プラズマクリーニング

plasma cleaning

[目次：試料等(試料および試料作製)]

試料にプラズマイオンを照射し、試料の汚れである炭化水素の重合物を除去すること。実際には、試料を二つの電極間において、低真空状態で電極間に電圧をかけ残留気体をプラズマ状態にし、プラズマイオンが重合物と反応し取り除かれる。プラズマとは原子や分子が激しくぶつかってイオンやラジカルになっている状態で、エネルギーが高く他の分子との反応性が非常に高い。

"Plasma cleaning" is to irradiate a specimen with plasma ions to remove contaminants (polymerized substances of hydrocarbons) on the specimen. In actual plasma cleaning, the specimen is placed between the two electrodes, and then a voltage is applied between the electrodes under a low vacuum so that residual gasses transform to the plasma state. The contaminants are removed by the strong reaction of the plasma ions. In the plasma state, atoms or molecules become ions and radicals due to strong collision with each other, which are at high energy states and are very reactive with other molecules.

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