エネルギーフィルター透過電子顕微鏡法

Energy Filter Transmission Electron Microscopy, EFTEM

[目次：分光分析(EELS／EDS／電子構造)]

試料を透過した電子の内で特定のエネルギーを持つ電子のみを用いて結像する方法。試料を透過する際にエネルギーを失った電子（非弾性散乱電子）を電子線プリズムによって分光し、エネルギー分散面にエネルギー選択スリットを挿入して、特定のエネルギーを失った電子のみで結像する。

1) エネルギー損失が~10eV以下の電子を用いて結像すると、主に弾性散乱した電子で結像することができるので、TEM像のコントラストが増強される（ゼロロス像と呼ばれる）。

2）特定の元素の内殻電子励起によってエネルギー損失を受けた非弾性散乱電子を選択して結像すると、その元素の試料内での分布が分かる。

A method to form a TEM image using only the electrons having a specific energy among those transmitting through a specimen. Electrons that lose energy in the specimen (inelastically scattered electrons) are subjected to pass through a prism for electrons, and the electrons with a specific energy loss are selected with an energy-selective slit inserted on the energy-dispersion plane to obtain the specimen image using only the electrons with the specific energy loss.

1) When a TEM image is formed using the electrons with energy losses less than ~10 eV, the contrast of the image is enhanced (called the zero-loss image) because the image is formed mainly with the elastically scattered electrons.

2) When a TEM image is formed using the electrons suffered by the energy loss due to excitations of the inner-shell electrons of the specific elements, the distribution of the elements in the specimen is revealed.

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