アナログ走査

analog scanning

[目次：装置]

電子プローブの水平方向の走査を、一様な傾斜を持つアナログの走査信号波形で行う方式。従来のSEMで長い間使われてきたもので、電子プローブ位置の制御はやや不正確になるほか、走査速度を変えたときの位置ずれや歪みが起きやすい。取り込んだ画像を拡大したときは、単純なボケになるので、アーティファクトは少ない。垂直方向は、走査線が離散的になるため、実質的にデジタル走査となり、この方向にアーティファクトを生じる場合がある。なお、アナログ走査であっても、信号をデジタル的に取得することでデジタル画像にすることが可能である。

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