回折コントラスト

diffraction contrast

[目次：理論]

結晶性の薄膜試料をSTEMあるいはTEMで観察したときに得られるコントラスト。結晶方位の違いにより回折条件が違う部分があると、コントラストを生じるので、結晶粒、結晶粒界のほか、局部的な結晶の歪み、格子欠陥などを観察することができる。試料傾斜をするとコントラストが変わるのが特徴である。
下図にSTEMおよびTEMでの回折コントラストの形成原理を示す。STEMではコントラスト絞りで、TEMでは対物絞りで回折波が遮られることで形像に寄与せずコントラストを生じる。

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